中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9270888 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、さまざまな機能とアクセサリーを備えた強力な拡散炉です。化合物半導体材料やフィルムの成長など、高温・超高温プロセスでの使用に特化して設計されています。セラミック真空チャンバー、特許取得済みの温度制御機構、高効率加熱装置を備えています。温度制御機構は、処理された温度が上下するにつれて均一性を確保するために機能します。暖房システムは2000°Cまで作動でき、2つの水晶棒および2つのヒーターが付いている水晶部屋の管を使用します。炉は、室内の温度と雰囲気を管理する統合制御ユニットを持っています。この制御機械は、マルチゾーンの加熱と冷却を正確に制御し、プロセスの期間中、温度をプログラムして正確に維持することができます。また、冷却圧力制御機能を備えており、酸化を低減し、ツールを安定した温度に保ちます。TEL A303iには、最高の結果を保証するためにいくつかのオプションのアクセサリーが付属しています。これらのうちの1つはロードロック&ウェーハ転送アセットです。これは、ロードロック室から炉室にウェーハおよび基板を迅速かつ正確に転送するように特別に設計されています。また、熱分解グラファイト細胞も含まれており、酸化を最小限に抑えることができます。TOKYO ELECTRON A 303 Iにはオプションのホットゾーン炉もあります。このホットゾーンは、可能な限り最高の処理温度を確保し、サンプル汚染を防ぐために使用されます。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 Iは、市場で最も先進的な拡散炉の1つであり、優れた温度均一性、使いやすい制御モデル、優れたウェーハ処理能力など、包括的な機能を提供します。高精度の温度制御、信頼性、拡散炉の優れた性能をお探しの方に最適なツールです。