中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9242097 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体製造に使用される拡散炉とその付属品です。この装置は、小さな領域で優れた拡散結果を提供するように設計されています。多目的でユーザーフレンドリーな構成により、迅速で簡単なセットアップが可能です。TEL A303iは、プレートヒーター、ガス供給、ガスコントローラ、本体を含む9つの部品で構成されています。本体はシャーシと2台のヒーターで構成されています。これは、温度制御ユニットによって駆動され、2つのゾーンで正確な温度制御を可能にします。プレートヒーターは均一な熱分布を提供し、高温拡散に適しています。ガス供給システムは、高温プロセスガスを提供し、必要な接続とコンポーネントが含まれています。ガスコントローラは本体と一体化されており、プロセスガスの流量と圧力を調整し、拡散プロセスレベルを監視することができます。TOKYO ELECTRON A 303 Iは、直径25mmから200mmまでの幅広いウエハサイズに対応できるように設計されています。このユニットはまた、他のシステムと統合するように設計されており、制御システムと測定データ用の専用インターフェースを備えています。TEL A 303 Iにはグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が装備されており、機械の制御と監視が容易になります。TOKYO ELECTRON A303iは信頼性の高い設計です。冷却システム、過熱コントローラ、高度な安全監視ツールなどの安全メカニズムにより、ユーザーは資産が確実かつ安全に実行されることを保証できます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON A 303 Iは、短時間で正確な拡散を確保するために、幅広い機能と部品を備えた信頼性と汎用性の高い拡散炉です。優れた性能、信頼性の高い操作性、十分に設計された構成により、A303iはあらゆる半導体製造に最適です。
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