中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9242096 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、垂直タイプ、軌道質量補助垂直フロー、シングルウェーハ、拡散炉、アクセサリーです。このデバイスは、精密な局所加熱および冷却特性を提供する独特の形状の水平電気ヒーター構成を備えています。それは高温拡散と低温アニーリングを提供するように設計されています。TEL A303iは、半導体デバイス製造の要求の厳しいアプリケーションのための魅力的な性能プロファイルを提供しています。このデバイスの信頼性の高い垂直フローアニーリング機能は、デバイスの製造に必要な精密パターニング層に非常に適しています。このデバイスはまた、温度制御のための広いプロセスウィンドウを提供します。その熱均一性制御精度は、加熱と冷却のプロセス全体で正確に監視および調整することができます。東京エレクトロンA 303私は、スペクトルグレードの高いデュアルシェルクォーツチューブ、磁気浮上モーター、窒化物ウォールグラファイトライナーなどの部品を含んでいます。それに安全なアクセスを保障する控えめな設計があります。東京電子A303iの特徴は、同じ装置内で拡散とアニールの両方を行うことです。このデバイスには、モニター、コントローラ、および温度およびプロセス制御用のソフトウェアパッケージが含まれています。モニターは、データを呼び出し、LCD画面上の各プロセスのパフォーマンスをグラフ化することができます。コントローラは、一次AC発電機と熱炉の入力パラメータと動作条件に光学的にアクセスします。コントローラは、サーマルアニーリングプロセスを監視し、適切に最適化された結果を得るためのパラメータを供給するためにも使用されます。TEL A 303 Iには、運用の最適化に役立つハイテク、運用、安全のガイドラインが含まれています。このデバイスは、一貫した製品を確保するために、任意の温度で均一な加熱および冷却性能を提供することに明確なエッジを持っています。ユーザーはまた、ユーザーマニュアル内のヒント&トリックやチェックリストにアクセスできます。このデバイスは、厳しい安全ガイドラインを満たすために認定されており、利用可能な最も信頼性が高く効率的な拡散炉の1つとして高く評価されています。