中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9241298 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体の熱処理に使用される高品質の拡散炉です。アニーリング、ドライブイン、その他の拡散、リフローや高密度包装に使用できる汎用性の高いツールです。TEL A303iの主な特徴は、高度なチャンバー設計、均一な温度分布、高スループットです。チャンバーの設計は、他の類似モデルと共通の侵食や亀裂に耐性があります。これにより、炉は信じられないほど信頼性が高く、再現可能な高品質の結果をもたらします。均一な温度分布により、温度勾配を最小限に抑えてウェーハを素早く加工できます。また、高いスループットにより、生産速度と効率が向上します。炉は調節可能で、短時間で加熱されるモリブデン発熱体が付属しています。発熱体は、その耐火性のために腐食から保護されています。また、アルゴンのパージ装置を搭載し、化学蒸着プロセスを利用しています。この化学蒸着プロセスをアルゴンで使用することで、チャンバーが熱酸化から汚染されるのを防ぎ、優れた結果をもたらす環境につながります。TOKYO ELECTRON A 303安全扉、アラームシステム、ZnO温度インジケータ、真空ユニットなど、複数の安全機能も備えています。安全扉は、温度が高すぎるとオペレータがチャンバーを開くのを防ぎ、警報機はオペレータに異常な状態を知らせます。ZnO温度インジケータは、チャンバー内の温度が一定の制限を超えたときにユーザーに警告し、真空ツールは、任意の可能な汚染物質が資産に入るのを防ぎます。安全性に加えて、A303iはまた素晴らしいユーザーエクスペリエンスを提供します。直感的なインターフェースにより、熱処理に必要なデータに簡単にアクセスできます。このインターフェースを使用すると、温度制御やレシピプログラミングなどの設定をカスタマイズできます。TEL/TOKYO ELECTRON A 303 Iは、半導体熱処理用の汎用性と信頼性の高い拡散炉です。その高度なチャンバー設計、均一な温度分布、高スループット、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、信頼性と信頼性の高い製品をお探しの企業に最適です。優れた品質の結果を保証する必要な機能と安全対策を提供し、直感的なインターフェイスはスムーズでシンプルな体験を提供します。
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