中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235204 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体ウェーハなどの製造に必要な高精度な温度要件を満たすために作られた拡散炉とアクセサリーのシリーズです。この拡散炉は、1350°Cまでの温度を処理するために特別に構築されており、高温堆積物に最適です。TEL A303iは、チャンバーボディ、石英チューブアセンブリ、電源、電源、制御システムなど、いくつかの部品で構成されています。TOKYO ELECTRON A 303 Iのチャンバーボディはアルミニウム製で、極端な温度に耐えうる特殊な樹脂コーティングが施されています。水晶チューブアセンブリは、水晶チューブ、ライナー、水晶チューブアタッチメント、シールリング、およびシャットオフバルブで構成されています。チャンバーボディと炉の入り口をつなぎます。電源は、プログラム可能な電源、コントロールボックス、および電源制御ユニットで構成されています。A303iの内部構造には、セラミックと絶縁基板の絶縁層があり、より高い温度に効率的に耐えるのに役立ちます。絶縁板はまた塵および残骸の進入から部屋をきれいに保ち、使用のために安全保護します。チャンバー内の他の温度制御機能には、水晶チューブアセンブリ、ヒーター、および水晶チューブを冷却するためにガスジェットを使用する冷却システムがあります。TEL/TOKYO ELECTRON A 303自動積み下ろしシステム、拡散ガス検知システム、正確な雰囲気と圧力調節のための正確なバルブ制御など、いくつかのオプション機能も備えています。さらに、TEL A 303 Iには、プロセス全体を正確に追跡できる高度な監視および記録システムが付属しています。TOKYO ELECTRON A303iは、プロセスに正確な温度と温度の均一性を要求する業界に最適です。これは、信頼性の高い温度調整とハイエンドの安全機能とプロセス制御システムを組み合わせており、多くのアプリケーションにとって信頼性が高く経済的な選択肢となっています。