中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #9235193 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、集積回路製造に使用される高度な拡散炉です。このシステムは、拡散炉チャンバと関連する処理装置の2つのコンポーネントで構成されています。拡散炉室は、空気と真空の両方をタイトに設計されており、1550°Cまでの温度が可能です。このユニットには、処理に必要な雰囲気を維持するための特別な大気制御機が装備されています。部屋はステンレス鋼、チタンまたはニオブから成っている2つの貝からなされます。チャンバーの内部はセラミックコーティングでメッキされています。このコーティングは炭化チタンナノフィルムを含み、処理中の酸化を防ぐように設計されています。チャンバーには、処理の進行を監視するために使用される光の伝送を可能にする石英窓も装備されています。拡散炉ツールには、さらなる処理を可能にする多数のアクセサリーも含まれています。これらの付属品には、延長アーム、シャッター、プローブアセンブリ、エッジシーリングプレート、スクレープダウン樹脂、発熱体が含まれます。プローブアセンブリは、樹脂の精密な操作と内部チャンバーへの適用を可能にします。追加の安全対策として、不活性ガス供給ラインがチャンバーに接続されています。エッジシーリングプレートはチャンバーの開口部に取り付けられ、外部からの汚染を低減するように設計されています。スクレープダウン樹脂を使用して、チャンバー壁の材料の付着による汚染を低減します。加熱素子は、チャンバーを均等に加熱し、処理のための一貫した環境を維持するために使用されます。TEL A303iは非常に信頼性が高く、使いやすい拡散炉アセットです。それは高度の集積回路および他の専門にされたマイクロエレクトロニクス部品の製作のために設計されています。それは長い有用な生命および低い維持の条件のために設計されている堅牢なモデルです。