中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293807098 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、半導体デバイスの製造に使用される拡散炉とその付属品です。具体的には、クリーンで均一な拡散プロセスを信頼性の高い再現性のある方法で提供するように設計されています。TEL A303iは1150˚Cの温度までウェーハを加熱することができ、最大直径8インチまでのウェーハサイズの加工が可能です。東京エレクトロンA 303は、ヒートゾーン内の優れた均質な温度分布を提供する一体型黒鉛ヒートゾーンと共晶液体合金技術を利用しています。ユニークな「超高速」ディスク回転装置は、チャンバー内の均一な温度を保証し、グラファイトの浸食を低減します。また、正確なガス流量制御に使用できる「パルス」ガスデリバリーシステムを内蔵しています。このユニットはまた、プロセス精度を高め、再現性を高めるためのオンボード真空機を備えています。拡散炉には高度なコンピュータインターフェイスが装備されており、プロセス変数を正確に制御できます。このコンピュータインターフェイスには、プロセス監視とデータロギング機能が含まれており、ユーザーは各処理ステップの進捗状況を簡単に追跡できます。このツールはまた、高度なセンサーと熱電対を使用してリアルタイムのフィードバックを提供します。安全性を高めるために、TEL A 303 Iには緊急停止ボタン、過熱保護アセット、緊急チェックバルブも装備されています。これらの機能を組み合わせて、緊急時にモデルが自動的にシャットダウンされるようにします。これらの機能に加えて、A 303 Iには多くの便利なアクセサリーが装備されています。これらには、追加のグラファイト熱帯、ローディングステーション、クエンチステーションが含まれます。これらのアクセサリは、シリコンオンインシュレータ（MOI）ウェーハの処理、およびウェーハのテストおよび分析のためのオプションの強化された範囲を提供します。TOKYO ELECTRON A303iが提供する先進的な機能とアクセサリの組み合わせにより、光学センサの自動統合やICパッケージ製品のシングルセルトランジスタなど、さまざまな半導体製造プロセスに最適です。フォトダイオード、CCD、その他のICの信頼性と再現性に欠かせないツールです。