中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293801902 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、最先端の拡散炉であり、高度なマイクロエレクトロニクスデバイス製造などの高精度アプリケーション向けのアクセサリーです。TEL （TOKYO ELECTRON）の生産グレード機器シリーズは、研究所や生産ラインでの使用、研究開発（R&D）の取り組みに最適です。TEL A303i拡散炉は1,250°Cまでの温度のきれいな操作そして均等性を提供します。均一な熱配分のための石英ベルヒーター、改善された均等性のためのシーリングのタイププロセス部屋および調節可能な内部の部屋圧力が装備されています。TOKYO ELECTRON A 303汚染を防ぐためのフィルターシステムも幅広く提供しています。この炉には、強力なパージ装置、自動大気サンプラー、ビジョンレンズビューアも装備されています。大気サンプラーは反応室の不純物を検出し、現在の状態に基づいてパージサイクルを調整することができます。さらに、Vision Lens Viewerは、処理中の基板のオペレータに優しい可視性を提供します。さらに、A303i拡散炉は、ユーザーの生産性と効率を最適化するように設計されています。ロボット化されたロードロックシステムとスマートツールの統合により、高速で正確なウエハハンドリングと、脱気や浸漬などの準備段階を可能にします。また、熱不安定をすばやく検出し、熱源を調整してスムーズで正確な動作を保証する自動温度モニターも備えています。さらに、東京エレクトロンA303iは、最適な状況管理のためのさまざまな安全対策を提供しています。精巧な3段式セーフティユニットは、自動的に監視し、安全を確保するために操作を調整します。異常動作時の自動シャットオフ・リカバー機能や、オートリセット機能を備えた圧力リリーフバルブを備えています。また、耐火性、耐温性に優れた断熱材を採用し、安定性と温度精度を向上させています。全体として、A 303 Iは、優れた性能を提供するための包括的な機能セットが付属している高度な拡散炉です。高度なパージマシン、拡張性のろ過システム、および統合された安全システムにより、ユーザーはより多くの自信と安心を持って動作することができます。さらに、ロボット化されたロードロック、自動温度モニター、ビジョンレンズビューアは、強力で効率的なユーザーエクスペリエンスを提供します。