中古 TEL / TOKYO ELECTRON A303i #293630205 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON A303iは、酸化、アニール、拡散、高分解能金属化などの低温プロセス用に設計された拡散炉です。このシステムは、均質な温度分布を提供するために設計された炉室、熱入力を調整するための制御ユニット、燃焼排出を制限するための難燃ユニットを使用しています。この拡散炉は最大1250°Cの温度範囲を持ち、最大負荷は4。5kgです。それは作動し、維持し易い高度の拡散炉です。安全のための保護フードと定期的なメンテナンスのための自動クリーニングモードが含まれています。TEL A303iの制御装置は、温度、時間、大気、発熱素子の応答を正確に制御する機能を備えています。また、正確な測定とデータロギングを可能にするプロセス監視機能も備えています。この拡散炉ツールは、さまざまなガスおよび真空監視オプションを提供するように設計されており、最適なプロセス制御が可能です。東京エレクトロンA 303 I拡散炉は、その先進的な機能に加えて、アクセサリーの広い範囲を備えています。これらのアクセサリーには、最大15種類のウェハキャリア、空気圧材料の積載資産、自動化された保護フード、および安全装置の完全なセットが含まれます。TEL A 303 I拡散炉は、高速ウェハトランスファーやプロセスサイクルなどの機能を備え、最適な生産性を実現するよう設計されています。炉のふたは3つのレベルの絶縁材と設計され、最適な温度調整およびエネルギー効率が良い設計を提供します。全体として、精密なプロセス制御、安全性、およびエネルギー効率のために設計された高性能の拡散炉モデルがA303iます。その最先端の技術は、低温プロセスを正確かつ効率的に実行しようとする企業にとって理想的な選択肢です。