中古 TEL / TOKYO ELECTRON 615 #293645002 を販売中

ID: 293645002
ウェーハサイズ: 6"
System, 6".
TEL/TOKYO ELECTRON 615は、さまざまな業界で使用される信頼性の高い高品質の拡散炉とアクセサリーです。この装置は、高真空炉チャンバーだけでなく、統合されたメインコントロールシステムと遠隔監視機能を備えています。このチャンバーは最大3つの独立した構成可能なエンクロージャを保持でき、それぞれに個別のガス、温度、および環境を備えています。メインコントロールユニットは、関連するすべてのパラメータを正確に監視および制御し、炉がピーク性能で動作するように設計されています。密閉されたチャンバーは、拡散プロセスで使用される熱および化学反応剤を効率的に管理するように設計されています。それは優秀な耐食性のための高い等級のステンレス鋼から組み立てられます。このチャンバーにはセラミックファイバーチャンバーの壁もあり、密閉されたチャンバーの均一な加熱が可能です。さらに、この炉には隔離された真空および不活性ガスシステムも含まれており、拡散プロセス中に気体反応剤を導入する際に最適な柔軟性を提供します。TEL 615には、プロセスコントローラ、熱電対、DCリレー、電源など、多数の統合アクセサリが搭載されています。プロセスコントローラは、拡散プロセス中にプロセスパラメータを監視、制御、および調整するように設計されています。熱電対は、チャンバー内の温度を正確に測定し、最適な調理環境を維持するのに役立ちます。DCリレーと電源を使用して、チャンバーのエネルギー効率的な加熱を可能にします。結論として、東京エレクトロン615は、信頼性と柔軟性の高い拡散炉とアクセサリーであり、さまざまな業界で使用することができます。高真空チャンバーと統合アクセサリにより、均一で正確な拡散プロセスが保証され、プロセスで使用される温度とガスに関連するエネルギーコストが削減されます。また、リモートモニタリング機能も備えており、ユーザーは常に制御を維持できます。
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