中古 TEL / TOKYO ELECTRON 30X #9241221 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON 30X
ID: 9241221
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Endpoint detection system, 12" 2006 vintage.
TEL (TE) TEL/TOKYO ELECTRON 30Xは、サンプルドーピングと熱アニーリングの信頼性と効率の高い方法を提供する高度な拡散炉です。この拡散炉には、レーザダイオード、抵抗線、および異なる熱過程の電子ビームを含む複数のソースが装備されています。TE TEL 30Xは、金属化とドーピングに最適化された3つの独立したるつぼアセンブリで設計されています。さらに、FORSUSとFILTEC Automationを搭載しており、装置全体のパフォーマンスを向上させながら、操作の複雑さを軽減します。TE TOKYO ELECTRON 30X拡散炉は、水平/垂直構成で最高温度1025°Cです。また、最大6ゾーンの温度制御用に構成することができ、ユーザーはさまざまなアニーリングプロセスのための複雑な温度勾配を作成することができます。さらに、この炉は、アンモニア原子ドーピング、フィルム蒸発、固体拡散など、ドーピングに幅広い機能を提供します。また、TE 30Xは、システムの機能を最大限に引き出すさまざまな統合オートメーション機能を備えています。FORSUSとFILTECオートメーションシステムはほぼ自動運転を提供し、ユーザーはプロセスを制御し、炉の動作を計画することができます。このユニットはまた、ユーザーがエネルギーを節約し、生産効率を高めることができながら、効果的な熱管理を提供します。TE TEL/TOKYO ELECTRON 30Xには、熱プロセスのユーザビリティを向上させるための追加アクセサリーも含まれています。これらのアクセサリーには、メッシュボート、石英チューブ、石英カップなどのさまざまな石英製品や、特別で高温のるつぼが含まれています。さらに、TE TEL 30Xは高度な接地機を備えており、高温プロセス中のオペレータの安全を保証します。TE TOKYO ELECTRON 30Xは、あらゆる用途に迅速かつ正確な熱処理能力を提供する強力なツールです。複数のソース、自動化されたシステム、および複雑さを最小限に抑えながらパフォーマンスを最大化する追加のアクセサリが装備されています。TE 30X拡散炉は、高度な機能と信頼性の高い性能を提供し、ラボに貴重な追加をもたらします。
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