中古 TEL / TOKYO ELECTRON 30X #9241217 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON 30XはTEL （TOKYO ELECTRON）社製の拡散炉です。1250°Cまでの温度で、材料を半導体ウェーハなどのウェーハに拡散するように設計された自動装置です。TEL 30Xシリーズの拡散炉は、他の拡散炉モデルとは異なる多彩な機能を備えています。TOKYO ELECTRON 30Xシリーズの拡散炉には、拡散プロセスをカスタマイズするために使用できるさまざまなオプションのアクセサリーとコンポーネントが付属しています。炉の主要な部品は高精度の温度調整と作動するように設計されている陶磁器の炉の管です。チューブ内部の熱帯は、石英ピロメーター、熱電対、発熱体など、さまざまなコンポーネントで構成されています。これにより、炉はサーマルゾーン内で正確な温度制御を達成することができます。一連の拡散炉30Xまた、真空および過圧保護の両方のような多くの安全機能を備えており、不活性な雰囲気で動作するように設計されています。これにより、処理されるワークの完全性が拡散プロセス全体にわたって維持されます。TEL/TOKYO ELECTRONシリーズの拡散炉30X、熱帯を制御・維持するだけでなく、ユーザーが拡散プロセスを制御できる様々なユーティリティやコントロールを備えています。これにはVirtual Network Computing （VNC）制御システムが含まれており、ユーザーは遠隔地からプロセスを制御および監視することができます。また、ハロゲンランプ温度制御ユニット、サーマルサイクリングマシン、ウェハホルダクランプなど、さまざまな機能を備えています。TEL 30Xシリーズの拡散炉は、高精度のプロセスフィードバックを可能にする熱画像とプロセスマッピング資産を統合するなど、さまざまな温度測定およびプロセス制御機能を備えています。これは、炉の他の様々な機能と組み合わせることで、ユーザーは均一で効率的な拡散プロセスを作成することができます。TOKYO ELECTRON 30Xは、パワー、精度、安全性の組み合わせにより、多くのユーザーに人気のある選択肢となっています。さまざまなウェーハで拡散プロセスを作成するための効率的で信頼性の高いソリューションを提供し、さまざまなアクセサリとオプションを使用すると、拡散プロセスをカスタマイズできます。