中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #180604 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは高温拡散炉と一体型アクセサリーです。この炉は、半導体、MEMSおよびその他のマイクロエレクトロニクス産業で使用されるサンプルの精密PECVD処理用に設計されています。それは信頼でき、作動し易いプラットホームで動き、1250°C。までプロセス温度が可能です。TEL ALPHA-8Sは、高度な高温拡散性能と比類のない柔軟性を備えています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、高度なプロセスパラメータをカスタマイズしたり、レコードタイムで極端なレシピを設定できます。デュアルRF源ユニットも非常に適応性が高く、アモルファスシリコン堆積などの高度なプロセスをサポートするために簡単に調整することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S炉は、幅広いウエハや基板の加工が可能で、試作・生産に最適です。他の炉では大規模なメンテナンスが必要になる場合がありますが、Alpha 8Sは低コストで、予防メンテナンスが事実上不要です。プロセスチャンバーは高度な冷却機能を備えているため、一貫して高いプロセス温度を安全かつ容易に処理できます。TEL ALPHA 8 Sには、近赤外線石英ヒーター、効率的な冷却システム、高度な電源システムなど、最適な動作に必要なすべてのアクセサリが装備されています。これらのすべてのコンポーネントは、最適なパフォーマンスと利便性のために統合されています。統合されたコンポーネントにより、迅速かつ簡単にアクセスできるため、セットアップ時間が最小限に抑えられ、スループットが向上します。TEL Alpha 8Sは、極端な温度センサー、O2およびH2ガス検知器、圧力センサーなどの高度な安全システムも備えています。これらにより、オペレータは潜在的な問題をすばやく特定し、迅速な介入とプロセス制御の改善を可能にします。東京エレクトロンアルファ8Sは、半導体、MEMSなどのマイクロエレクトロニクス業界での試作・製造に最適な高性能で安全で信頼性の高い拡散炉です。美しさ、処理能力、高度でありながら操作が簡単なプラットフォームにより、あらゆる生産環境に最適です。