中古 SVG / THERMCO Ranger 3000 #9256561 を販売中

SVG/THERMCO Ranger 3000は、ウェーハおよびダイレベル半導体加工アプリケーションに適した拡散炉およびアクセサリパッケージです。2つの主要なマイクロ波装置メーカーの合弁会社の結果、SVG Ranger 3000は、現代の応用研究、材料加工、および製品プロトタイピング要件をサポートする幅広い機能と利点を提供します。THERMCOレンジャー3000は、優れた均質性と経済的な蒸着率を提供する高度な設計の連続流拡散炉です。この制御可能な拡散炉は、広範囲のプロセス温度にわたって正確な物理蒸着特性を提供するように設計されています。この設計には、ダイレクトドライブモータやデュアル温度制御ゾーンなどの高度な機能が組み込まれており、最適な拡散性能を確保しています。熱電対モニタリングおよびクローズドループ制御オプションにより、炉室からの直接フィードバックが可能になり、蒸着およびアニール用途の精度と精度が向上します。この高精度設計により、熱変動リスクを低減し、ウェハレベルの再現性を確保します。レンジャー3000は、0。1°Cの精度、複数のガス源とガスの混合性を備えた広い動的温度範囲（600°-1200°C）と、in-situ軸温度プロファイルを均一にするWide-Band-Gap Dynamic Flow-Averaging技術も備えています。SVG/THERMCO Ranger 3000は、石英トーチ、サンプルバスケット、ホルダー、サポートロッド、および信頼性の高いRFインピーダンスマッチングシステムを含むアクセサリーの配列が含まれています。クォーツトーチは、均一な蒸着層を正確に堆積させるために拡散源と統合されていますが、補助部品は、蒸着用のウェーハを効率的に処理して配置するように設計されています。付随するRFインピーダンスマッチングシステムは、あらゆるタイプの蒸着プロセスで優れた性能を発揮し、ウェーハおよびダイレベル基板の効率的かつ正確な差別化を実現します。SVG Ranger 3000は、幅広い研究、材料加工、製品プロトタイピングアプリケーションに適した先進的な設計の連続流拡散炉およびアクセサリパッケージです。精密な物理蒸着特性、優れた均質性、正確な温度制御、およびさまざまなアクセサリにより、このシステムは多くの現代の半導体ニーズに信頼性と費用対効果の高いソリューションとなります。