中古 SVG / THERMCO / AVIZA / WATKINS JOHNSON RVP-300 Plus #293639266 を販売中
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SVG/THERMCO/AVIZA/WATKINS JOHNSON RVP-300 Plusは、研究、製造、および生産アプリケーション向けに設計された高度な拡散炉です。完全なシステムはRVP-300シリーズのメインフレーム、ポンプ、コントローラーおよび特別な付属品から成っています。このユニットは、アニーリング、潤滑、熱処理、硬化、特殊ガスによるドーピングなど、拡散プロセスのためのさまざまな材料を処理することができます。メインフレームは、負荷容量1000ポンドのRV300-300 Plusチャンバー、SVG RVP-300 Plusコントローラ、2つの自動ガスバルブを備えた2つのガスタンク、真空/圧力/圧力制御機で構成されています。AVIZA RVP-300 Plusチャンバーは、ステンレス鋼で構成され、広い動作温度範囲にわたって熱均一性と安定性を提供するように設計されています。工具の定格電力は30kWで、温度範囲は350〜2000°Cです。このチャンバーには、自動ベローズシールとセラミック断熱材が装備されており、熱損失とエネルギー消費を防ぎます。RVP-300 Plusは、パラメータパラメータを正確に制御し、既存の半導体製造ツールやプロセスと容易に統合できます。このアセットには、高精度な温度制御とチャンバー圧力とフローの精密な調整を提供するマルチセグメントデジタルコントローラが含まれています。ユーザープログラマブル機能や、グラフィカルインターフェイスを備えたPC互換ソフトウェアを使用した拡散プロセスのリアルタイム監視などのモデルの高度な機能は、研究および生産アプリケーションのための機器を高効率にします。THERMCO RVP-300 Plusは、2つの自動ガスバルブを備えた2つのガスタンクによる正確なガス制御も提供します。チャンバーは、チャンバーへのガスの流れを正確に制御できる低圧システムで設計されています。WATKINS JOHNSON RVP-300 Plusには、効率的で正確な操作のために設計されたさまざまな特別なアクセサリーも付属しています。アクセサリーには、材料の取り扱いと配置のための特別なバスケットとトレイ、正確な温度測定のための熱電対、荷重と荷降ろしカート、プロセス雰囲気を制御するためのチャンバー、ガスや発煙の収集のための排気ユニットが含まれています。このマシンは、さまざまな自動およびロボットウェーハハンドリングシステムとも互換性があります。全体として、SVG/THERMCO/AVIZA/WATKINS JOHNSON RVP-300 Plus拡散炉ツールは、高効率で安全で、正確な制御が必要な場所で簡単に操作できます。この資産は非常に信頼性が高く、メンテナンスを最小限に抑える必要があり、ダウンタイムと生産性を最小限に抑えます。独自の特長と先進的なアクセサリーを備えたこのモデルは、半導体製造、研究、製造、その他の特殊材料処理など、さまざまな用途に理想的な拡散炉です。
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