中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR #9278764 を販売中

SVG / THERMCO / AVIZA VTR
ID: 9278764
ウェーハサイズ: 6"
Furnaces, 6" 1997-2006 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTRは、シングルドア機器からトリプルドア機器まで、拡散炉とその付属品です。このシステムは、単結晶シリコンウェーハのような単結晶の基板から、基板や3Dオブジェクトなどのより大きなフレームワークまで、さまざまな材料の高速かつ効率的な熱処理を提供します。SVG VTRのコアコンポーネントは、右または左負荷のるつぼなし炉、高解像度のタッチスクリーンコントローラ、および高精度の温度制御プログラムです。このユニットは、使用中の時間温度プログラムを示すインタラクティブグラフを備えており、最大99個のプログラムをメモリに格納できます。また、炉の操作を監視し、文書化するための電子データレコーダーが装備されています。AVIZA VTRは、信頼性の高い迅速な加熱サイクルを提供し、密接に監視された環境で均質な温度プロファイルを作成します。機械の最高温度は空気大気の1600°Cおよび窒化物の大気の2400°Cです。マルチゾーン温度制御は、温度プロファイルを正確に監視および制御するデュアルゾーン温度制御ポートによってデジタル設定され、温度勾配を排除します。熱プロセスの高品質を確保するために、THERMCO VTRツールは、炉室内の均一な温度と均質な雰囲気を維持する統合循環資産を持っています。さらに、冷却用の高性能ラジアルファンを搭載し、温度プロファイルをしっかり制御し、クールダウン時間を短縮します。さらに、ユーザーの安全とプロセスの精度を確保するために、VTRには自動レベリング機能と2つの強力なリフトシリンダーが装備されており、基板プラットフォームのレベルを維持します。さらに、SVG/THERMCO/AVIZA VTRは、排気漏れ検出技術、高圧シャットオフスイッチ、および高度な電気保護装置を備えた他のシステムとは区別されます。SVG VTRシステムは、より高い熱処理の効率と精度を実現する究極のソリューションです。AVIZA VTRは、設置プロセスを簡素化し、運用の信頼性を高め、効率的な監視および制御機能を備えた熱処理品質を最適化します。THERMCO VTRは、その精度と精度により、材料の熱処理に最適です。
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