中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7107 TOX #26400 を販売中

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7107 TOX
ID: 26400
ウェーハサイズ: 6" 8"
Vertical Furnaces, Wet / Dry Oxide, 6", can be configured to 8" capability Gas system can be configured As is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7107 TOXは、卓越した設備効率と特殊拡散アプリケーション用のアクセサリの範囲を備えた、高性能で省エネな拡散炉です。この装置は、1つのコンポーネントまたは複数のコンポーネント拡散のための2つの異なる技術の選択肢を提供し、高度なコンピュータ制御プロセス制御システムを備えています。SVG VTR 7107 TOXは、ステンレス鋼やセラミックベースの部品を含む堅牢な高級材料で構成されており、優れた耐熱衝撃性を提供します。これは、1,077°Cまでの温度制御を備えた拡張デュアルゾーン加熱チャンバを備えていますが、効率的で均一な熱分布を確保するために、ガス間再燃空気を利用しています。また、分離または結合した雰囲気、取り外し可能なパネル、統合されたパージスイッチを備えており、効率的で安全な処理を提供します。追加コンポーネントとして、AVIZA VTR 7107 TOXには、エネルギー消費を最大30%削減するために設計された効率的な熱管理ユニットが付属しています。その高性能タービンファンは、正確な温度制御のために調整することができ、動作温度とは独立してプロセス温度を維持することができます。ユニットには、部品のより良い位置とチャンバー内の均一な大気圧を形成するための調整可能なサポートマシンとガスノズルが付属しています。VTR 7107 TOXによって提供される拡散機能は、アクセサリの広範なリストによってさらに強化されています。これらには、拡散室周辺の熱を均等に分散させるように設計されたグラファイトサセプター、効果的な暖房と冷却を提供するためのコールドウォールライナー、そして清潔で健康的な雰囲気を維持するためのイオナイザーとオゾン発生器が含まれます。THERMCO VTR 7107 TOXは、正確でエネルギー効率が高く柔軟なツールを必要とする幅広い拡散アプリケーションに最適です。その最上層の暖房および拡散機能は、信頼性と再現性の高い結果を保証するために必要な品質を提供します。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7107 TOXは、長持ちするコンポーネント、高度な制御プロセス、および印象的なアクセサリーの選択により、さまざまな拡散アプリケーションに最適です。
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