中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9384781 を販売中

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 9384781
Vertical furnaces.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、酸化、窒化、再結晶、注入、アニーリングなど、さまざまなプロセスに使用できる拡散炉およびアクセサリーシステムです。SVG VTR 7000は、最大1200oCの処理温度を達成することができ、不活性または還元雰囲気で動作するように設計されています。このシステムは、高温供給源、セレクタバルブボックス、パージボックス、および調整可能な速度と流量の再循環ブロワーで構成されています。AVIZA VTR 7000は3相パワーで動作し、アプリケーションに応じて、大気制御用の真空ポンプが必要になる場合があります。このシステムは、グラファイトホットゾーンとガスフローディストリビューターを備えています。ガスフローディストリビューターは、ホットゾーンを均等に流れ、より大きな排気成分の侵入速度を最小限に抑えるための均一なソリューションを提供します。ホットゾーンには誘導加熱コイルもあり、高速で外部調節可能な加熱プロファイルを提供します。VTR 7000は、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)と温度コントローラを使用して、プロセス中に一貫した温度制御を行います。THERMCO VTR 7000には、クォーツチューブヒーター、るつぼ、石英チューブ、コネクティングフランジ、温度プローブ、真空シールなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。これにより、機能と汎用性の強化された範囲が可能になります。さらに、調整可能な速度リサーキュレータファン、ドアインターロックスイッチ、緊急停止ボタンなど、安全な操作を保証するさまざまな安全機能を備えています。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、半導体基板の加工などの大気の正確な温度制御と清浄度を必要とする用途や、高温金属やセラミック基板を含むその他の用途に最適です。SVG VTR 7000は効率的な運転のために設計されており、拡散炉のアプリケーションに最適です。
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