中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9361390 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、さまざまな材料およびアプリケーションで高品質の拡散アプリケーションを可能にするように設計された拡散炉およびアクセサリです。拡散炉及びコントローラ、サポートラック、ガスフローコントローラ、チャンバー分離マニホールド、エッチング/イオン源、冷却システム、チャンバーシールドを含みます。この拡散炉は、2000°Cまでの精密な温度制御を提供し、幅広いパラメータを備えています。コントローラは、窒素、アルゴン、フォーミングガス、水素などの様々なガスでチャンバーの大気を調整することができます。この拡散炉はパルス周波数変調電源を備えており、高度な制御のために高いランプレートと温度の高速パルスを可能にします。このラックは、ガス流量コントローラ、イオン源、冷却システムなどの炉やその他のサポート機器の位置決めを可能にします。SVG VTR 7000単位に含まれているガスの流れのコントローラーはいろいろなガスを使用して部屋の大気の精密な制御を、提供します。チャンバー分離マニホールドは、チャンバーを大気から分離し、漏れの危険なしにさまざまなガス源を接続することができます。エッチングやイオンミリングなど、チャンバー内でパターンを作成するためにエッチング/イオンソースを使用します。イオン源は、正確なパターンを形成するのに役立つ集中したプラズマストリームを作成するために使用されます。冷却機は、ツールの寿命を確保するのに役立ちます。水冷式熱交換器は、チャンバーの一貫性を保ち、温度を効率的に処理するのに役立ちます。チャンバーシールドは、断熱や熱衝撃や放射からチャンバーを保護するためにも不可欠です。AVIZA VTR 7000は、さまざまな材料およびアプリケーションで使用するための強力で信頼性の高い拡散炉およびアクセサリ資産です。2000°Cまでの精密な温度制御と幅広いパラメータを提供できるため、高度な拡散方法に最適です。サポートラック、ガスフローコントローラ、エッチング/イオン源、冷却モデル、チャンバーシールドはすべて、この装置を高品質の拡散アプリケーションのための完全なシステムにします。