中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9354435 を販売中

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 9354435
ウェーハサイズ: 8"
Vertical anneal furnace, 8" SMIF Carousel deck has been removed.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は半導体の生産および急速な熱処理の適用のために設計されている拡散炉および装置の付属品です。SVG VTR 7000は、タッチスクリーン制御、広範囲の温度設定、および36 "x 20" x 21"のサイズを備えた、エネルギー効率に優れた費用対効果の高い炉です。AVIZA VTR 7000は、コンピュータ制御のオペレータインターフェイスを備えた3ゾーンのハイエンド炉です。これにより、複数のセッションコントロールと再現可能なプロセス機能を備えたプログラマブルシーケンスを含むすべての機能タスクを正確に制御できます。ユーザーフレンドリーなコントロールインターフェイスは、標準およびカスタム設定の広い範囲に対応しながら、シンプルな操作を可能にします。この炉は耐久性と耐食性に優れた耐火材料で作られており、反射防止黒色仕上げで炉の性能を最大限に高め、熱損失を最小限に抑えます。THERMCO VTR 7000はまた、安定性と精度を確保するために、耐久性のある金属構造と調整可能なベースで設計されています。汚染を防ぐためにアニーリングシールドが付属しています。VTR 7000は1000°Cまでの最高の温度設定を可能にする長い生命水晶発熱体が装備されています。最高温度設定でも優れた温度制御が可能で、急速な加熱・冷却動作を実現し、チャンバー全体で+/-5°Cの温度均一性を実現します。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、ラボグレードの熱電対、ガスフローと温度のシステム監視、ユニークなロックメカニズムを備えたデュアルドアシステム、プラスシャットオフ機能を備えた内蔵の安全システムなど、さまざまな追加機能を提供します。この炉は、負荷重量の変化を検出するために使用できるロードセンサーを備え、さまざまなプロセス容器にも対応できます。SVG VTR 7000は、半導体製造に最適なソリューションで、プロセス時間の短縮、消費電力の削減、安全性の向上など、さまざまな機能と利点を提供します。この炉は、費用対効果の高い優れた性能を提供するように設計されており、お客様の生産性を最大化し、運用コストを削減するのに役立ちます。
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