中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9313214 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、拡散およびアニーリング半導体デバイス用に特別に設計された拡散炉およびアクセサリーです。この拡散炉は急速な熱アニーリングおよび低温拡散プロセスのために設計されており、急速な熱アニーリング（RTA）および低温拡散を含むさまざまなプロセスを実行することができます。これは、両方のプロセスに必要な正確な温度を放出する高度な赤外線ランプを備えています。SVTSVG VTR 7000には、ランプの温度を正確に制御するための温度コントローラが内蔵されており、目的の温度が常に達成されるようにしています。また、この拡散炉は炉室に様々な化合物を添加することでガス拡散が可能です。これは、ガス拡散プロセス中に正確に異なる化合物の量を提供できることを保証する高速ガス分布システムを持っています。また、特定のプロセスに最大25％の窒素の雰囲気を提供することができます。SVTAVIZA VTR 7000は、チャンバーを迅速かつ安全に開閉できる2段階のドア設計を備えています。これにより、かさばる工具が不要になり、現場の人員が不要になり、安全性が向上します。さらに、ドアが開いているときに炉への主要な電源をすぐに締める高度の安全連結システムを特色にします。SVTTHERMCO VTR 7000には直感的なタッチスクリーン制御インターフェースがあり、簡単な設定と操作が可能です。また、反応チャンバーからのデータを記録し、ユーザーがデータを分析することができます組み込みデータレコーダーが含まれています。最後に、炉には、電源異常、温度オーバーのチャンバー、またはプロセスのエラーなどの問題をオペレータに通知するためのアラームが内蔵されています。全体として、VTR 7000は急速な熱アニーリングおよび低温の拡散プロセスのために設計されている高度の拡散炉および付属品です。革新的な赤外線ランプと温度コントローラを備え、ランプを正確に制御し、異なる化合物の正確な量のガス拡散システムを備えています。また、安全性のための2段階のドア設計と、簡単な設定と操作のための直感的なタッチスクリーン制御インターフェイスを備えています。最後に、内蔵のデータレコーダーにより、ユーザーはデータを記録して分析することができ、炉にはさまざまな問題が発生する可能性のあるアラームも内蔵されています。