中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9300429 を販売中

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 9300429
ウェーハサイズ: 6"
Furnaces, 6".
SVTSVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、最新かつ高度な拡散炉であり、現代の材料加工用のアクセサリーです。それは高温に敏感なケイ素、ガリウムのヒ素、ダイヤモンドおよび他の混合物を含む材料の急速な熱処理(RTP)のために設計されています。この装置は、精度、安全性、効率性において最高水準を満たすために改良されています。SVTSVG VTR 7000は、最大温度1000°Cの大容量4トン炉室を備えています。このシステムには、独立して制御された2つの温度ゾーンもあります。これは、製品の表面全体にわたって正確かつ一貫した温度制御と均一な加熱を提供します。Vari-Overhead Rate Control (VORC)技術を使用すると、0。1°Cの精度でチャンバの温度を変更でき、新しい材料や製品を開発するための理想的なツールとなります。SVTAVIZA VTR 7000はまた、材料の不必要なストレスや引き裂きなしに材料の効率的な出入りを保証するユニークなマルチゾーン輸送メカニズムを備えています。このユニークなユニットはまた、炉の内部で一定で均一な温度制御を保証します。また、分子層エピタキシー(MLE)や原子層成膜(ALD)を含む超高真空圧力プロセス(UVP)の範囲を可能にする高度なタイトシーリング真空ツールを誇っています。この資産には、製品から揮発性ガスを完全に除去するためのガス注入モデルもあります。これらの機能に加えて、SVTTHERMCO VTR 7000には多くの安全および通信機能が装備されています。その電気炉と温度制御装置は、電流、電位、位相、電力を監視し、人員と機器の安全を確保するように設計されています。また、システムにはカウンターユニットとアラームがあり、オーディトリーとビジュアルの両方で、温度があらかじめ定義されている安全限界を超えると人員に警告します。全体として、SVTVTR 7000は強力で革新的な拡散炉とアクセサリ機械です。高容量の4トンの炉の部屋、精密温度調整、UVPの両立性および多数の高度の安全特徴の組合せはそれを先端材料の処理および研究の適用のための理想的な用具にします。
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