中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168927 を販売中
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ID: 9168927
ウェーハサイズ: 6"
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: TEOS
(1) Chamber
(1) Mainframe
EDWARDS iQDP80 / QMB500 Pump
Gas manifold box
TEOS Transfill
Transformer
Power control unit.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、半導体基板の費用対効果の高い産業用グレード処理用に設計された拡散炉およびアクセサリユニットです。この高度な炉は、特許取得済みのフラックス濃縮技術を備えたデュアルパーパスシャワーヘッドを使用して、最適な熱均一性と低粒子汚染による正確なプロセス制御を提供します。SVG VTR 7000は1200°Cの最高温度まで達することができる信頼できる、高温設計を特色にします。頑丈な炉の部屋は性能を最大にし、温度が制御された、一貫した残ることを保障するために頑丈な、高温絶縁材と組み立てられます。高度制御装置は正確なプロセス結果を保障するためにガスの流動度、圧力および温度を調節するために精密なフィードバックを提供します。また、パラメータ読み取りを表示するデジタル表示、予期しない結果が発生した場合にユーザーに通知するアラーム監視も備えています。AVIZA VTR 7000には、不活性ガスを利用してプロセス温度を最適化する高効率加熱システムが含まれています。最適な設計により、事前にプログラムされたプログラムの効率が向上し、機器のダウンタイムが短縮されます。さらに、高度な冷却ユニットは熱の蓄積を低減し、頻繁な温度調整の必要性を排除します。VTR 7000には、精密なガス制御と均一なガス分布のための特許取得済みのガス分配技術も付属しています。高度なガス制御機は、ユーザーが手動でガス組成を調整するだけでなく、特定の要件に基づいて所定の料金を設定することができます。不活性ガス供給はまた部屋にきれいで、信頼できる操作を保障するために接続されます。操作が簡単なタッチインターフェイスを提供し、プロセスの簡単な操作と制御を可能にします。全体として、THERMCO VTR 7000は、優れた性能と堅牢な機能を備えた信頼性の高い、費用対効果の高い拡散炉です。高級断熱材と高度なガス制御システムを活用し、均一な熱性能とプロセス歩留まりを実現します。さらに、直感的なタッチスクリーンインターフェイスとアラームツールにより、ユーザーはプロセスステータスに関する最新のフィードバックを提供し、このユニットは産業用拡散アプリケーションに最適なソリューションです。
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