中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9168601 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、薄膜材料を成長させるために設計されたシングルチャンバー水平拡散炉です。この拡散炉は最高温度2500°Cで、急速な加熱と冷却サイクルのための急速熱処理（RTP）機能を備えています。SVG VTR 7000は、均一な急速加熱（URH）と正確な急速な温度サイクルを必要とするアプリケーションに最適です。精密に制御された熱処理シーケンスと圧力を、高い再現性と再現性で提供します。AVIZA VTR 7000は、ステンレス製のクラッド壁を備えた純粋なモリブデンで構成されています。10。5 「W x 10。5」 L x 9。9 「Hの全面的なサイズおよびステンレス鋼の部屋の基盤によって支えられる9。90」 W x 9。90 「L x 4。75」 Hの熱された地帯があります。大気圧から0。7 Torrまでの圧力定格を持ち、208Vの単相電源が必要です。THERMCO VTR 7000には、高速シングルコネクトヒーターと高速タイマーベースのコントローラを備えたNooter-Erickson Rapid Thermal Processing Equipmentが装備されています。ヒーターは数秒以内に設定温度レベルにチャンバを正確かつ迅速に加熱するように設計されており、コントローラは内蔵プログラムで温度プロファイルを最適化するように設計されています。このシステムはまた炉の部屋およびヒーターの過熱を防ぐ2550°Cの自動サーマルシャットオフスイッチを含んでいます。VTR 7000には、セラミックバブラチャンバー付きのろう付け排気ユニット、ステンレススチールセラミックラボ接続、真空タイトシールが含まれています。排気機は、部屋からクリーンな排出物を取り除くことができ、有毒な発煙が実験室の環境に入るのを防ぎます。また、水晶ビューポートは、プロセスチャンバーの観察を提供しています。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、デジタル表示とデジタル設定ポイント制御を備えた高精度の温度コントローラも備えています。温度は+/-3°Cの正確さおよび+/-0。5°Cの再現性の0。7 Torrに大気圧から容易に調節することができます。また、0-50 AF電源、デジタル真空読み出し、およびチャンバーのオプションの強制空気と窒素パージが含まれています。SVG VTR 7000拡散炉とアクセサリを使用することで、従来の製造方法よりも精度と制御性を向上させ、原子層成膜（ALD）や化学蒸着（CVD）などのプロセスを可能にします。プロセスチャンバーとヒーター間の温度変化を排除し、精密かつ再現性のある薄膜を製造することができます。これにより、薄膜材料を製造するための信頼性と費用対効果の高い選択肢となります。