中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9158201 を販売中

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SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
販売された
ID: 9158201
ウェーハサイズ: 6"
Vertical furnace, 6".
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、複数のアプリケーション用に設計された拡散炉です。半導体デバイス、太陽電池、LED結晶などの製造を容易にする高温炉です。温度の正確な制御を可能にし、幅広い用途向けに多くのパラメータを設定する機能を備えています。この炉は、グラファイト発熱体を使用して2000Cまでの温度を生成します。この高温は速く、有効な拡散およびプロセスを可能にします。グラファイトの構造は付加的な耐久性および長い耐用年数を提供します。この炉は、低圧プロセスにも使用でき、許容可能な結果を得ることができます。炉にはいくつかのアクセスドアが装備されており、簡単な構成と最小限の設置面積を可能にします。SVG VTR 7000には、迅速なトラブルシューティングとサービスのための標準機能として、高度な診断と手動制御も含まれています。標準パッケージには、真空ポンプ、温度コントローラ、特別なグラファイト昇華チューブも含まれています。この炉は、運転に伴う全体的なコストを削減するのに役立つエネルギー効率の高い設計で構築されています。AVIZA VTR 7000は、プロセス条件が常に維持され、制御されていることを確認するのに役立ちます自動圧力制御システムを持っています。温度調節器は調節可能で、プロセス温度の微調整を可能にします。炉にまた利用できるアクセサリーの多種多様があります。IRカメラは、プロセスのさまざまな部分の温帯レベルを監視するのに理想的です。IRカメラは、加熱段階のリアルタイム監視を可能にし、微調整プロセスに特に役立ちます。また、精密な温度制御に役立つ真空センサーもいくつかあります。THERMCO VTR 7000は、幅広い用途に適した強力で信頼性の高い拡散炉です。それにあらゆる製造業の必要性のための理想的な選択をするエネルギー効率が良い設計およびいろいろ付属品があります。そのグラファイト発熱体は、迅速かつ効率的なプロセスを提供し、その多数のアクセスポイントは、簡単な構成と小さなフットプリントを可能にします。高度な診断および手動制御オプションにより、迅速なトラブルシューティングとサービスを提供します。
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