中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9148935 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、エッチングおよび成膜プロセスを強化するように設計された、最高レベルの拡散炉およびアクセサリパッケージです。SVG VTR 7000は、幅広い機能を備えているため、最も先進的な半導体および電子アプリケーションで使用できます。このユニットには、サブミクロンの精度、信頼性、プロセスの最適化を実現する高度な制御システムが装備されています。現代の半導体や電子部品に見られる洗練された材料には、この高い精度、制御、性能が必要です。AVIZA VTR 7000は、より速く、より正確な拡散を可能にするデュアルゾーン加熱の原理に取り組んでいます。装置は2つの独立した発熱体を使用して、チャンバー内の熱を均等に分配します。このデュアルゾーン加熱により、ウェハまたは部品のさまざまな領域に高温を適用することができ、周囲に熱損失や歪みがほとんどなくなります。VTR 7000不活性ガスフローシステムのユニークな設計は、材料がアクティブゾーンに侵入したり、露出したりするのを防ぎ、ユニットの目詰まりや汚染を防ぎます。この不活性ガスフロー機は高効率であり、金属、ポリシリコン、ガラス層の沈着、薄膜沈着、拡散などの高度な半導体および電子アプリケーションを幅広くサポートすることができます。THERMCO VTR 7000は、カスタマイズされた自動プロセスをセットアップおよび実行できる使いやすい制御コンソールを備えています。複数のプログラムを保存することができるため、ユーザーはツールの制御に関して究極の柔軟性を持っています。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000には、さらにパフォーマンスを向上させるためのさまざまなアクセサリーも付属しています。これらの付属品はSVGの真空コントローラー、暖房された部屋、発熱体、ガス入口および部屋の温度調節器を含んでいます。さらに、高精度熱電対位置を提供し、正確な温度測定とフィードバック制御を可能にします。全体として、SVG VTR 7000は信頼性が高く、高度な拡散炉であり、今日の高度な半導体および電子アプリケーションでプロセスの最適化とパフォーマンスの向上を提供するように設計されています。そのデュアルゾーン加熱資産、不活性ガス流量モデル、およびアクセサリの範囲は、最も要求の厳しい半導体および電子プロジェクトに最適です。