中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #9028211 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、半導体製造用に開発された拡散炉およびアクセサリーです。多種多様な材料を加工できるマルチゾーン・高性能炉です。メタルシール付きの石英ガラスで作られた高圧バルーンタイプのデザインが特徴です。高度な温度制御により、SVG VTR 7000は、すべての加熱ゾーンの温度を正確に制御および監視し、再現性のある信頼性の高い結果を得ることができます。さらに、この拡散炉は調整可能な圧力レギュレータを備えており、各加工室内の圧力を正確に制御できます。AVIZA VTR 7000は拡散処理で最高品質と安全性を確保するためにいくつかの機能が装備されています。まず、電気部品と光学部品の両方の広い範囲の温度センサのフルレンジが含まれています。これにより、各チャンバの正確な温度監視と制御が可能になり、信頼性の高いスループットを確保できます。この炉はまた、プロセス・ガスを制御、監視、調整するための空冷ガス減速機を備えた自動ガス処理装置を備えています。これにより、最高品質の拡散結果が保証されます。さらに、炉は高度な過圧保護システムを備えており、圧力または温度のしきい値を超えた場合にユニットを監視およびシャットオフします。VTR 7000は直感的なユーザーインターフェイスを備えた強力なガス流量制御機も備えています。これにより、各ゾーンで正確なガス流量制御と監視が可能になり、最適な拡散結果が得られます。最適な性能のために、炉は専門にされた処理機能を提供する付属品の広範囲と結合することができます。これらには、高温高速スキャン機構、調節可能なシールドフレーム、繊細なウェーハ用の特殊ベーキング治具、およびプログラム可能な自動ガスフロー制御が含まれます。結論として、THERMCO VTR 7000は、半導体製造のために設計された強力な拡散炉およびアクセサリーツールです。高度な温度制御、ガス流量制御、圧力制御、安全機能により、信頼性の高い再現可能な拡散結果を提供します。豊富なアクセサリーにより、多種多様な製造プロセスに適しています。全体として、SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、一貫した高品質の結果を求める製造者に完全な高性能拡散モデルを提供します。