中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #68580 を販売中
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販売された
ID: 68580
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Anneal vertical furnace, 8"
Specifications:
Wafer size: 8"
4-Cassette load arrangement
Maximum wafer load: 160
2-Boat / single tube system
3-Zone heating element
Anti-static system
Heat deflector option
Pressure control to 2 Torr
MKS 652 pressure controller
Single disk floppy recipe system
Quartzware set
Gas system:
MFC 1: UNIT 1268A 20slm N2
MFC 2: UNIT 1268A 20slm H2
MFC 3: UNIT 1268A 20slm 10%H2/N2
MFC 4: UNIT 1268A 20slm N2
MFC 7: PORTER 200slm N2
Power requirements: 208V, 100A
1995 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は高精度の炉の必要性のために設計されている拡散炉および付属品です。装置は厳しい許容条件およびさまざまなサイズのサンプルに達すること困難のために設計されています。製品の製造において高い精度と精度を必要とする工具メーカーにとって理想的なツールです。SVG VTR 7000は、単一または複数の加熱サイクルを使用して、アニーリング、酸化物、窒化およびその他の関連プロセスなどの広範囲の拡散炉プロセスを実行するように設計されています。AVIZA VTR 7000には、プロセス効率のためのさまざまな機能が装備されています。ステンレス鋼で構成され、サンプルの最適な性能と均一な加熱を確保するために、高出力RF誘導ヒーターやその他の最先端の技術を利用しています。プロセスパラメータのプログラミングに最大限の柔軟性を実装する高度な自動プロセスコントローラが含まれています。また、簡単に設定を調整する直感的なユーザーインターフェイスを提供しています。このシステムは100%自動化されており、アニーリング、酸化、窒化、スパッタ沈着など、さまざまなプロセスに優れた環境を提供します。THERMCO VTR 7000は、0。1%の高精度で幅広い温度範囲を提供します。これは、インターロック、温度オーバーシュートに対する保護、安全性とエネルギー効率のための冷却保護を含むコンピュータ制御の安全ユニットが装備されています。VTR 7000のディフューザハードウェアは、高度な材料で設計されており、幅広い拡散機能を提供します。優れた信頼性と性能を提供します。利用できるいろいろなサイズおよび設計によって、拡散器ハードウェアはあらゆる適用条件を満たすためにカスタマイズすることができます。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、定義済みのプロセスとレシピの包括的なライブラリを提供し、さまざまな炉タスクを迅速かつ簡単にセットアップできます。また、最も高度で洗練されたアプリケーションのための追加のプロセスパラメータデータを簡単にインポートすることができます。機械は顧客の生産ラインに容易に統合することができます。柔軟性と利便性のために、ツールはさまざまなアクセサリで構成することができます。これらには、自動負荷/アンロードシャトル、高速サイクル、多温度および自動ドアコントローラが含まれます。アクセサリパッケージには、さまざまな発熱体、プロセス監視資産、電源なども含まれています。要するに、SVG VTR 7000は、精密なアプリケーション用に設計されたハイテクで効率的で信頼性の高い拡散炉とアクセサリーパッケージです。最高の柔軟性、正確な温度、高度な安全性、優れたカスタマイズ性を提供します。
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