中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #37362 を販売中

ID: 37362
ウェーハサイズ: 8"
H2 Anneal furnace, 8".
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、加熱および冷却を含む複数のプロセスアプリケーション用の拡散炉およびアクセサリ機器です。この高性能システムは、さまざまなハードウェア用途に精密な均一な温度制御を提供します。それに高い耐久性および信頼性を保障する厚いアルミ合金の基礎版が付いている堅牢な構造があります。このユニットは、セラミック断熱材で完全に裏打ちされ、内部からの熱損失を低減するトップマウントのセラミック加熱チャンバーを備えています。また、熱電対とサーミスタが付属しており、正確な温度測定と制御を提供します。この機械は、電気ヒーター、抵抗加熱コイル(RHC)、誘導加熱コイル(IHC)、統合ガスヒーターなど、さまざまな加熱要素で構成することができます。SVG VTR 7000は、強力なPID (Proportional、 Integral、 Derivative)制御ツールにより、ユーザーに高精度の温度制御を提供します。この信頼性の高い資産は、正確な結果を提供するためにアナログとデジタル入出力構造で設計されています。複雑なプロセスでも高性能で堅牢な許容パラメータを保証します。この温度制御モデルは、加熱および冷却、等方性制御、ランプ制御などの複数のプロセスモードを提供します。シンプルで直感的なインターフェースにより、ユーザーは個々の要件を満たすためにプロセスパラメータを調整できます。AVIZA VTR 7000には、暖房、冷却、およびその他のプロセスアプリケーション用のさまざまなアクセサリも付属しています。石英炉船は、ユーザーが鉄および非鉄金属の拡散または表面酸化を行うことができます。浸炭処理やろう付け処理にも使用できます。この機器には、BTB-200コントローラとKTP-200デジタル入出力モジュールを備えたインライン温度制御システムが含まれています。これらのアクセサリーは、ASTM標準熱処理や低圧化学蒸着処理などのCVDプロセスを支援します。最後に、THERMCO VTR 7000アクセサリーユニットには、プロセス要件に応じて温度を正確に制御するための空気/ガス/真空機械が付属しています。高速バルブ、流量計、電子圧力レギュレータを備えており、正確な流量と温度制御を提供します。流れメートルおよび電子圧力調整装置は速い応答時間を提供し、効果的にプロセスの進歩を監視するのに使用することができます。つまり、VTR 7000は、加熱、冷却、およびその他のプロセスを含む複数のハードウェアアプリケーション用の強力なアクセサリツールです。それに精密で、有効な処置のための堅牢な構造、精密な温度調整およびいろいろ付属品があります。
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