中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #30056 を販売中

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ID: 30056
ウェーハサイズ: 5" 6"
Silicon Nitride Vertical Furnace Has Dichlor (DCS), SiH4, and NH3 Black Max element 402-914401 (3 zone unit) Plumbed NPCVD nitride with a Silane line Compatible with 8" if element is changed - Configured for 5"-6" Includes Plumber for Si3N4 with SiH4 line plumped Does not have vacuum plumbing or pumps Can be inspected Currently stored in a warehouse.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、最先端の材料を使用して優れたアニールおよび熱処理環境を提供する高度な拡散炉およびアクセサリ機器です。SVG VTR 7000は、優れたアニールと熱処理の結果を提供するために必要なすべてを備えたスタンドアロンシステムです。強力でデジタル制御された抵抗加熱ユニット、高速再循環ファン、および最適な性能のための高度な制御を備えています。この炉には、3相コンバータユニットを備えた420V/220V電源も含まれています。AVIZA VTR 7000のコンピュータコントロールマシンは、タッチスクリーンインターフェイスを備えており、必要に応じて熱処理の正確なパラメータをプログラムできるように非常にプログラム可能です。さらに、ユーザーはリアルタイムおよび履歴ログ機能を使用してプロセスを監視できます。このツールは、ランプと浸漬サイクル、一定の温度、および複数の温度の組み合わせなど、さまざまな温度プロファイルが可能です。VTR 7000によって提供されるアニールおよび熱処理のエンクロージャは非常に有効、信頼できます。そのシングルチャンバー設計は排気ファンを排除し、より速いヒートアップとクールダウンサイクルを可能にします。エンクロージャはまた、優れた温度均一性と絶縁効率を可能にするために、高性能でありながら軽量な材料で作られています。THERMCO VTR 7000はステンレス鋼から構成されており、耐食性があります。このチャンバーには2つのセラミックサンプル導入/除去チューブがあり、サンプル調製に便利です。さらに、サンプル導入/除去チューブは、サンプルに完全な加熱環境を提供するように設計されており、全体的に加熱されます。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000には、さらに強力で柔軟な資産になるさまざまなアニーリングおよび熱処理アクセサリーが付属しています。これらには、付属の石英パイプ、グラファイトハース、アルミナ棚、ボート、るつぼ、サンプルバスケットが含まれます。アクセサリーは耐久性があり、使いやすく、サンプル調製を迅速かつ簡単にします。全体として、SVG VTR 7000は、高度で信頼性が高くユーザーフレンドリーな拡散炉およびアクセサリーモデルであり、優れた結果を得るためのアニールおよび熱処理に最適です。優れた加熱装置、高度な制御機能、および耐久性のあるアクセサリーを備えたこのシステムは、最も要求の厳しい熱処理のニーズにも最適です。
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