中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811745 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、幅広い用途向けに設計された拡散炉およびアクセサリーパッケージです。SVG VTR 7000は、コールドウォール設計、高速積載能力を備えており、800°Cから1300°Cまでの温度が可能です。効率的で使いやすいインターフェイスと自動化されたプロセスにより、この装置はドーパント拡散、低k誘電性成膜、ブリッジなどのアプリケーションに最適です。AVIZA VTR 7000には、高真空対流ポンピングチャンバーが装備されており、優れたプロセス制御と再現性を提供します。拡散前駆体およびドーパントは、ガスラインによってチャンバーに注入することができ、プロセスガスは事前に設定された圧力で燃焼されます。高度な温度と圧力制御により、THERMCO VTR 7000はドーピングプロセス中に急速なランプアップとクールダウンを可能にします。高速、デュアルステージシール機構により、ウェーハやコンポーネントの再現性、効率的なロードとアンロードが可能です。また、VTR 7000は、柔軟なヒートシールド、温度制御およびレギュレーション用のデュアル熱電対、ドーパント供給ポート、ロードロックシステム、ロードポートステーション、不活性ガス噴射システム、真空ゲージなど、幅広いアクセサリーを備えています。ポストデポジションオーブンには、さまざまな温度プリセットとグラファイトサセプターも含まれています。これらの機能はすべて協力して、さまざまなアプリケーションに適した信頼性と再現性の高いドーピングプロセスを作成します。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、さまざまな電子および半導体アプリケーション向けの拡散炉およびアクセサリの優れた選択肢です。それは動的温度および圧力制御および有効な大気制御の単位のおかげで信頼でき、正確、および反復可能な結果を、提供します。アクセサリーの広範な範囲は、ユーザーが特定のニーズに合わせてマシンを調整することができ、品質の結果を保証します。SVG VTR 7000は、安全性や精度を損なうことなく、信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計されていることを知って、簡単に休むことができます。