中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #293811744 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、さまざまな半導体材料のウェーハ加工に使用される拡散炉およびアクセサリスイートです。この装置は、高温均一性と熱管理を提供するため、半導体の高品質で制御されたドーピングレベルを達成するのに最適です。SVG VTR 7000の拡散炉は完全に密閉された水冷式の設計を特徴とし、正確な温度制御と低熱ドリフトを可能にします。高度なデジタル温度コントローラは、正確な温度設定とランピング機能を提供します。AVIZA VTR 7000は、複数の熱電対プローブを使用して、炉内で均質化された温度を提供します。VTR 7000には、完全な熱管理システムを提供するいくつかの追加コンポーネントが含まれています。これらには、排気ブロワーマニホールド、ドアインターロックユニット、およびエネルギーマネジメントシステムが含まれます。排気の送風機機械は余分な熱を得、より有効で、均一な熱管理を可能にするように設計されています。ドア連結ツールは、炉の内部へのアクセスを制限するために使用することができます。最後に、エネルギー管理資産は電力消費を削減し、より効率的な運用を可能にします。THERMCO VTR 7000は、着信ウェハ温度を測定するための赤外線ピロメータと、視覚監視用のクォーツ表示ウィンドウを備えています。さらに、SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000には、カスタマイズされたワークセルに複数のオプションが付属しています。これにより、簡単なインストールとプロセス効率の向上が可能になります。結論として、SVG VTR 7000は、半導体産業における高度な拡散炉プロセスに必要なすべての部品を提供します。そのデュアルゾーン設計と赤外線ピロメータは、高度なセンシングおよび制御要素と組み合わせて、半導体材料の正確かつ再現可能な熱管理を保証します。さらに、幅広い互換性のあるローディングおよびアンロード・システムにより、プロセスの効率が向上します。これにより、AVIZA VTR 7000は、最高レベルの精度と効率を達成するために探している人にとって理想的な選択肢となります。