中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26405 を販売中

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000
ID: 26405
ウェーハサイズ: 8"
Vertical Furnaces, Nitride, 8" w/ Carousel and Asyst, as-is.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、反応性および非反応性材料の高度な堆積のために設計された拡散炉およびアクセサリ機器です。それは精密な熱制御、精密な温度の均等性および速い周期を提供する完全な熱処理システムです。SVG VTR 7000は、優れた拡散性能と改善された大気制御機能を提供するように設計されたハイテク拡散炉です。AVIZA VTR 7000は、3。7 kWの管状ガス燃焼IRヒーターと6つの短い長さのスプリットコイルIRヒーターを備えています。さらに、VTR 7000は、高度なPID/ファジーロジックコントローラを備えており、高精度な温度設定、高速応答時間、および幅広いアプリケーションに再現可能な結果を提供します。THERMCO VTR 7000はまた、真空レベルを監視する圧力タッピングバルブを備えた水冷拡散チャンバーを内蔵しています。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000には、使用を容易にし、湿式化学などの特殊なプロセスを可能にするいくつかのアクセサリーも含まれています。アクセサリーには、迅速なウェーハローディング、ダイオードコンタクトヒーター、真空シール、圧力調整バルブ、および壊れやすい材料の信頼性の高い堆積のための自動マテリアルハンドリングユニットのためのテーパ式の真空ロックが含まれています。SVG VTR 7000は、優れた品質と性能を提供するように設計された高度な熱処理機です。このツールは、半導体、光電子、光電子デバイス製造、セラミックス、ガラス製造など、幅広い用途に最適です。AVIZA VTR 7000は、熱および機械的応力制御試験、機能膜の化学蒸着(CVD)、およびその他の複雑な研究開発などのカスタムアプリケーションにも適しています。VTR 7000は、急速な温度ランプ速度と短いサイクル時間で最大2800°Cの温度で拡散プロセスを実行することができます。また、安全性を確保し、事故の可能性を最小限に抑えるために、幅広い保護機能を提供しています。含まれている安全機能には、過電流および過熱保護、サーマルカップリングシャットオフ、緊急加熱シャットオフ、および誤動作を警告する視覚アラームアセットが含まれます。THERMCO VTR 7000はユーザーフレンドリーで、生産プロセスを最適化するために設計された幅広いソフトウェア機能とプログラムが付属しています。ソフトウェア機能の範囲には、自動化されたフロントエンドプログラミングモデル、リアルタイム監視、サイクルシーケンス、複数の製品レシピ、一連のプリセットコマンドが含まれます。これらの機能はすべて、SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000を高効率でユーザーフレンドリーな熱処理装置にします。
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