中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26401 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、広範囲の温度にわたる半導体の高温処理用に特別に設計された拡散炉およびアクセサリです。この装置は、高度な設計、マイクロコントローラベースの制御を備えており、複数のプログラマブルセットポイント、ランプレート、および炉パラメータを備えており、非常に動的な環境でも正確な熱処理を保証します。SVG VTR 7000は、拡散、酸化、窒化、アニーリング、イオン注入、スパッタ沈着など、幅広いプロセスをサポートします。AVIZA VTR 7000は、断熱ドアを備えた堅牢なステンレススチールキャビネットを備えています。最大温度1150°Cのチャンバーヒーターと水平ロッドタイプのコールドウォール設計を採用し、真空チャンバー全体に優れた温度均一性を提供します。このシステムは、優れたチャンバー断熱材を組み込み、高度な温度プロファイル制御を組み込むことで、伝熱効率を最適化するように設計されています。この炉は、最大200mmのウェハサイズをサポートし、優れたプロセス制御と安定性のために効果的なクローズドループPID制御アルゴリズムを使用しています。その高度な制御モジュールは、複数のPIDおよびオン/オフヒーター制御、上下階段制御プログラム、および炉を一定の温度に保つのに役立つバックフィルプログラムを提供します。この炉は、チャンバ内の均一な温度分布を維持するために、2モードのチャンバーファンユニットを備えています。VTR 7000の排気機械は高性能フィルターおよびスクラバーを含んでいます。THERMCO VTR 7000には、炉内の温度を正確に測定し、反復可能な結果を保証するピロメーターと複数の温度センサーも装備されています。さらに、このツールは、任意の熱破壊の影響を最小限に抑えるために保護ボードで設計されています。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000搭載のパワーモニターにより、オペレータの安全性と信頼性を確保します。SVG VTR 7000は、資産のパフォーマンスを向上させるために設計されたさまざまな追加アクセサリーと組み合わせることができます。これらには、陽極酸化、冷却システム、特殊制御システム、プロセスチャンバー、その他多くのオプションが含まれます。これらのアクセサリは、特定のプロセス要件を満たすカスタムテーラードソリューションを可能にします。全体として、SVAVIZA VTR 7000は、広範囲の温度で均一で正確な拡散処理を可能にする自動高温拡散炉およびアクセサリーモデルです。堅牢なハードウェア、高度な温度制御、監視機能、幅広いアクセサリを備えているため、半導体製造に最適です。