中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 7000 #26396 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は高性能の拡散炉で、半導体産業の研究開発の実験室で使用するために設計されています。SVG VTR 7000は、信頼性の高い精密な熱処理を提供するために構築されており、プロセスチャンバー全体にきれいな熱を提供するためにロープロファイルの潜水ヒーターを備えています。AVIZA VTR 7000は、従来の拡散炉よりも大幅に優れた均一な熱制御により、正確な温度制御と均一性を備えています。THERMCO VTR 7000は、3500°Cまでの温度でも動作し、シリコン、ヒ素ガリウム、アルミニウムなどの材料の堆積およびエッチングに使用できます。均一な熱制御を実現するため、VTR 7000はプロセスチャンバーに内蔵された薄型の潜水ヒーターを備えています。ヒーターは高度な加熱材料を使用し、構成に応じて50°Cから1500°Cの間の温度に達することができます。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、均一な熱制御のためのセラミックトップ、熱配達のためのセラミック強化コイル、電気ブーストヒーターなど、さまざまな先進的な加熱コンポーネントを備えています。これにより、プロセスチャンバ全体にわたって優れた熱均一性と正確な熱制御を提供します。SVG VTR 7000は、精密な熱制御に加えて、高性能真空機能も備えています。装置は8 x 10-6 Torrまで真空レベルに達することができ、十分な動作温度を達成するために10-4 Torrまでのチャンバー圧力で動作します。AVIZA VTR 7000は、3500°Cまでの温度範囲で、急速熱処理（RTP）を含むさまざまな拡散プロセスを実行できます。THERMCO VTR 7000は、プロセス全体を通じてユーザーの安全を確保するための高度な安全メカニズムも備えています。これには、異常温度を超えた場合の自動デバイスのシャットダウン機能、異常な電力レベル、およびその他の安全条件が含まれます。また、高度な診断機能を備えており、ユニットの状態を監視し、欠陥を特定してプロセスチャンバーのさらなる損傷を防ぎます。VTR 7000は、信頼性と正確な熱制御を提供するだけでなく、高性能な冷却機能を提供するためにも構築されています。これは、チャンバの外側とチャンバの内側を同時に冷却するための高速、低圧クーラントの流れを提供するデュアルステージ冷却機によって可能になります。また、チャンバー温度を素早く均等化するための迅速な応答熱伝達天井と、最適なクーラント循環のための低温供給ラインを備えています。全体として、SVG/THERMCO/AVIZA VTR 7000は、精度と信頼性のために設計された強力な拡散炉です。SVG VTR 7000は、高度な部品と安全機構を備えており、さまざまな拡散プロセスで極端な温度で動作することができます。AVIZA VTR 7000は、薄型の水中ヒーター、均一な温度制御、高性能真空機能を備え、半導体業界の研究開発ラボに最適です。