中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #9168600 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000は、厳しい要件を満たすように設計された高度な拡散炉とアクセサリーパッケージです。この装置は、シングルウェーハまたはバッチ処理技術により、1時間あたり最大6000ウェーハを実行することができ、低コストでより高いスループットを実現します。このシステムは、機能と機能の印象的な配列を提供します。SVG VTR 6000は、革新的な積載ウェーハスタッキングカルーセルを備えており、1回転につき最大3枚のウェーハを搭載でき、スループットを大幅に向上させます。その化学ステーションは、迅速かつ正確な化学注入のために設計されています、精密ウェーハ配置メカニズムは、ウェーハの正確なアライメントを確保するのに役立ちます。チャンバー全体の精密温度制御は、拡散動作中の均一な非酸化大気に特に有益です。操作の容易さと安全性の向上のために、AVIZA VTR 6000は高度なフォルトモニタリングと診断機能を備えています。フルカラーのグラフィカルLCDタッチスクリーンインターフェイスにより、操作が簡単になり、リアルタイムプロセスパラメータが表示されます。また、オプションのOptical Emission Spectrometer （OES）を使用して、チャンバー内に存在する有害な汚染物質を検出するための信頼性の高い機械監視および診断機能を提供します。さらに、統合されたElectrical Substrate Analyzer （ESA）は、拡散プロセスの進行を監視するのに役立ちます。THERMCO VTR 6000は、ユーザーの利便性を最大限に高めるために、ロボットシステムやウェハーロックシステムと統合されるように設計されています。また、直感的なソフトウェアプログラムを備えており、ユーザーがレシピを素早く設定するのに役立ちます。さらに、このツールは、簡単に検索するために最大10,000レシピを格納することができます。稼働時間を最大化するため、メンテナンスや修理に要する時間を短縮するケーブルフリー接続モデルも付属しています。全体として、VTR 6000拡散炉とアクセサリは、幅広いアプリケーションに費用対効果が高く信頼性の高いソリューションを提供します。高度な機器設計、包括的なシステム監視および診断機能、直感的なソフトウェアプログラム、およびケーブルフリーメンテナンスユニットは、信頼性が高く、費用対効果の高いパフォーマンスと優れたユーザーの利便性を保証します。