中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597263 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000は、半導体業界で使用される拡散炉で、標準拡散炉の機能と高度なオートメーションとカスタマイズオプションを組み合わせています。この炉は、最大25ワットの電力、最大3600ワットの加熱および1150°Cまでの温度を提供できます。高度なコントローラには16の高度な拡散プログラムと移植プログラムがあり、ユーザーはプロセスをカスタマイズして目的の結果を得ることができます。このチャンバーには自動グリコール冷却装置も装備されており、プロセスの各ステップで均一な冷却が保証されています。チャンバーは2つのセクションで構成されています：ベースとスタック、より正確な制御を可能にします。基地は電子的に動力を与えられ、温度および圧力設定のための実時間温度および圧力測定、またデジタル読書を表示します。このチャンバーには、内部を観察するための水晶ビューポートと、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）に接続するための0-5ボルト出力も備えています。SVG VTR 6000には、バッフル投げ機とコンデンサーの両方を内蔵した拡散ポンプが装備されており、チャンバー圧力を正確に制御できます。この高度なポンプは、材料のより正確な濃度とより速いサイクル時間のための環境騒音と振動を低減するように設計されています。ポンプもプログラム可能で、ユーザーは材料がチャンバーを通過する速度をカスタマイズして望ましいレベルの拡散を達成することができます。この炉には、温度、チャンバー圧力、プロセス手順を監視する一連のタイマーとアラームが含まれている自動中央プロセス制御システムも含まれています。このユニットは、レシピが正確にフォローされ、プロセスが指定された時間内に完了するように設計されています。マシンはまた、チャンバーまたはそのコンポーネントに損傷をもたらす可能性があります任意のプロセス条件を防ぐために動作します。さらに、中央プロセス制御ツールは、チャンバーの酸素レベルを監視することにより、安全性を高めるのに役立ちます。その印象的な機能の配列に加えて、AVIZA VTR 6000は、生産性と利便性を高めるための多数のアクセサリーを提供しています。これらには、自動および手動のウェーハ処理をサポートするキャリアウェーハ転送アセット、およびアプリケーションのロードとアンロードのためのラジアル炉ハブとピンセットが含まれます。カーテン、グレーディングバケツ、コリメーター、特別な石英ライナーなど、さまざまな高品質の石英アクセサリーも備えています。最後に、VTR 6000はコーティング用途のためのグラファイトとRP-CVD部品の追加セットを提供しています。全体として、THERMCO VTR 6000は強力で信頼性が高く、汎用性の高い拡散炉であり、カスタマイズと生産性の向上に絶大な機会を提供します。標準的な拡散炉と高度なオートメーションオプションを組み合わせることで、ユーザーは安全で効率的でありながら望ましい結果を得ることができます。