中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #293597262 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000は、半導体デバイスの急速熱処理（RTP）用に設計された拡散炉です。この高効率で信頼性の高い炉は、優れた温度均一性と安定性を備えているため、幅広い半導体加工アプリケーションに最適です。SVG VTR 6000は、真空タイトなステンレス加工チャンバー、プロセスガスマニホールド、および裏面冷却プラテンアセンブリで構成されています。チャンバーには底積み押出機が装備されています。この炉のユニークな特徴である押出機は、幅広いプロセス構成と効率を可能にします。AVIZA VTR 6000のガス供給装置には、ガスボックス、壁に取り付けられた圧力レギュレータ、比例バルブが含まれており、基板に届けることができる正確に制御されたフルレンジのプロセスガスを提供します。また、加熱・冷却サイクルの高速化を実現する電子温度コントローラを搭載し、プロセスを中断することなく迅速なプログラミングとレシピの変更を可能にします。コントローラはシンプルなグラフィカルユーザーインターフェイスも備えています。VTR 6000の裏面冷却プラテンアセンブリは、基板全体にわたって垂直および水平の温度均一性のための3つのチャネルに沿って電力を分配します。冷却プラテンはさらに、温度制御の均一性と精度を向上させ、温度過剰またはシュート不足を排除します。THERMCO VTR 6000は、過剰なプロセス温度から保護する自動シャットダウンシステムなどの高度な安全機能を備えています。この機能は、基板の過熱や壊滅的な基板の故障を防ぎ、安全で生産的な作業環境を確保するために特に重要です。さらに、SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000は、炉内のクリーンな空気循環を提供するための空気ろ過ユニットを備えており、汚染のリスクを最小限に抑えます。要約すると、SVG VTR 6000は急速熱処理用に設計された非常に信頼性の高い拡散炉です。効率的なガス供給機、使いやすいGUIを備えた電子温度コントローラ、温度均一性を向上させるための裏面冷却プラテンアセンブリ、自動シャットダウンツールやエアフィルトレーションアセットなどの高度な安全機能を備えています。優れた性能、信頼性、安全性を備えたAVIZA VTR 6000は、半導体加工アプリケーションに最適です。