中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26404 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000は、精密温度制御および半導体加工アプリケーション向けのミッドレンジ拡散炉およびアクセサリパッケージです。この拡散炉は最高温度定格1500°Cで、ポリシリコン、窒化ケイ素、窒化アルミニウムなど幅広い材料に適しています。SVG VTR 6000は精密なコンピュータ制御および安全特徴が装備されていて、精密な温度およびプロセス管理を可能にします。さらに、パッケージにはターボポンプと、追加のユーザーカスタマイズのためのホット/コールドエアフローコンセントが含まれています。AVIZA VTR 6000拡散炉は、高級セラミック繊維絶縁材および特殊合金から構成され、高性能アプリケーションでの温度極端および寿命に対する耐性を確保します。内部チャンバーの測定には、9。5インチの直径と12インチの高さがあり、より大きな容量に対応するように設計されています。シングルゾーン設計は垂直対流熱を備えており、独立した調整と調整可能な高温ファンを備えており、限られたスペースで熱を指示します。高温発熱体は、高温チャンバーの外側に配置され、より速く冷却および温度安定化を容易にします。このパッケージには、直感的なコンピュータベースのコントローラも含まれており、ユーザーはプログラム可能な温度プロファイルを設定して微調整することができます。通信を可能にするインターフェースとして機能し、正確な温度とプロセスデータ、アップグレード可能なレシピ、リアルタイムセットポイント調整を提供します。PID（比例、積分、差動）温度プロファイル制御システムは、所定の設定点に関してより高い精度と再現性を保証します。VTR 6000に過熱保護および冷却ファンのような人員を、保護する作り付けの安全機能があります。それは一定の限界に炉の温度の読書が残ることを保障するために複数のレベルの制御および監視を含み、加圧されたターボポンプはきれいな操作を保障するためにエアフィルターが装備されています。THERMCO VTR 6000の熱効率設計により、より速い発熱と冷却が可能です。このサーマルドリフトを最小限に抑え、より高い精度とプロセス安定性を実現します。ワイヤーフィーダーやセラミックバスなどのアクセサリーも別途用意しています。この拡散炉とアクセサリパッケージは、拡散、酸化、アニーリングなど、幅広い加工用途に対応する信頼性と経済的な価格のソリューションです。SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000は、ラボ、半導体、オプトエレクトロニクス製造など、幅広い業界で使用できます。