中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000 #26403 を販売中

SVG / THERMCO / AVIZA VTR 6000
ID: 26403
ウェーハサイズ: 6" 8"
Vertical Furnace, TEOS, 6", can be configured to 8" capability Gas system is configurable as is early 1990s vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA VTR 6000は、昇華、沈着、酸化、拡散、アニーリングなど、さまざまな高温用途向けに設計された拡散炉およびアクセサリーパッケージです。パッケージには、1750°Cまでの温度と100 mbarまでの圧力で動作する機能を備えたマルチゾーン、石英チューブタイプのオーブン、および高温チャンバー内の環境を制御するための追加の付属品が含まれています。SVG VTR 6000拡散炉は、複数のゾーン、石英管タイプのオーブンチャンバーと安全システムを利用しています。炉の部屋の内部は炉が作動しているとき均一な熱性能を提供するために高アルミナおよび溶融石英管から造られます安全システムを保障し、最高エネルギー効率を保障します。これには、圧力リリーフバルブと障害が発生した場合の電源を切断するためのスイッチが含まれます。このシステムには温度プロファイル・プログラムが搭載されており、ユーザーは温度、ランプ速度、プロセスのホールドタイムなどの予め設定された加熱パラメータをプログラムすることができます。これにより、ユーザーは洗練された再現可能な熱処理を実行することができます。拡散炉に加えて、AVIZA VTR 6000拡散炉とアクセサリーパッケージには、ガスおよびガス流量計、ガス圧力レギュレータ、抵抗温度計、リレーおよびセンサー、大型吸引ヘッダ、フレキシブルな圧力低減のためのベローズ、高速加熱素子、RS-232ポートなどの追加アクセサリが含まれます。付属の付属品は、ユーザーの個々のニーズに合わせて調整することができ、より高い精度と効率を提供します。VTR 6000拡散炉とアクセサリーパッケージは、産業ユーザーにさまざまな機能を提供するように設計されており、さまざまな昇華、堆積、酸化、拡散、アニーリングプロセスを実行することができます。機能とアクセサリの組み合わせにより、プロセスパラメータの最適化と再現可能な結果が得られ、安全機能によりユーザーの安全性と最大のエネルギー効率が保証されます。
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