中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 51 #293593069 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 51拡散炉とアクセサリは、半導体製造アプリケーションで使用される精密ツールです。これは、標準的な暖房システムで1300°Cまでの温度に達することができる高温炉です。それに150mmのサンプルホールダーそして最大負荷の適用範囲が広い構成を可能にする長いワーキングゾーンがあります。また、この拡散炉は2段の設計により、優れた均一な加熱性能を誇っています。第1段階は炉の部屋の均質な暖房を保障します、第2段階はプロセスパラメータの正確な制御を傷つけます。さらに、強力で信頼性の高いコールドウォール技術により、容器の壁の作動を防ぎ、製品の歩留まりを向上させます。業界の専門家は、直感的なソフトウェアを介してこの拡散炉を監視することができます。GUI制御の加熱、冷却、温度安定化サイクル、リアルタイム温度表示、温度マッピングなどの複数の機能を提供します。また、タイムプログラミング、温度ランプ、高精度プロファイリングも可能です。このソフトウェアは、最高の精度のために様々なパラメータを監視し、記録し、調整します。この拡散炉は、半導体製造に多くの利点をもたらします。酸化、窒化、アニーリングなどのウェーハ拡散プロセス用に設計されています。さらに、内蔵のカウンターバランス機構により、アークと基板の曲げを防止します。高温制限により、プロセスのオーバーシュートからシステムを保護し、製品の信頼性を高めます。SVGのVTR 51拡散炉および付属品は高温プロセスのための優秀な用具です。それは堅い温度調整のための固体状態の技術と比類のない均一な暖房の性能を提供します。直感的なソフトウェアと組み込みの安全メカニズムにより、この拡散炉は一貫して信頼性が高く正確なプロセス結果を提供します。