中古 SVG / THERMCO / AVIZA VTR 51 #186012 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA VTR 51は、高度なプログラム可能な拡散炉で、信頼性と効果的な熱拡散操作を費用対効果の高い方法で設計されています。この炉は、あらゆるタイプの半導体、MEMおよび関連プロセスを含む拡散炉のユーザーに、プロセス制御と再現性を向上させます。SVG VTR 51には、熱拡散プロセスを実行する際に優れた柔軟性、精度、再現性を提供するユニークな機能セットが装備されています。炉は炉の部屋、プロセス部屋、脱熱器、絶縁されたホットゾーン、調整された空気取り入れ口および水晶タイルのベッドで構成されます。プロセスチャンバーは、ターゲット材料への効率的な熱伝達を保証するように設計されています。そのホットゾーンは、温度を調整し、過熱を防ぐために、さまざまなセンサーで構成されています。調節された空気取り入れ口は安全で一貫した暖房を保障します、水晶タイルはサンプル全体の均一な温度を保障します。AVIZA VTR 51には、安全で信頼性の高い操作を保証するさまざまな安全機能が装備されています。保護エンクロージャ、高温アラーム、過熱保護を提供します。これにより、安全な操作と最小のリスクで効率的な保護が保証されます。高度なソフトウェアは、ステージプログラミングやプロセスモニタリングなどの高度な機能を提供します。これにより、ユーザーは簡単にプロセスパラメータを設定して監視し、拡散プロセスのより良いハンドルを与えることができます。VTR 51hasは急速な熱処理のための2つの統合された発熱体で、直径10インチまでのあらゆるタイプの基質を収容できます。また、温度変化の最大5°C/分の速度で迅速なサーマルサイクリング機能を備えています。プロセス部屋は酸素および湿気の低レベルのために窒素パージされます。また、均一な拡散処理のために最大4つのサンプルを保持できるユニバーサルラックを備えています。VTR 51の付属品には、熱電対、ガスライン、配管、DIウォーターライン、ウェブカメラ、モニターが含まれます。これらの追加コンポーネントにより、ユーザーはプロセスを特定のニーズに合わせてさらにカスタマイズして調整することができます。結論として、THERMCO VTR 51は、精密部品と革新的な機能により優れた制御と再現性を提供する高度なプログラマブル拡散炉です。高度なソフトウェア、複数の熱源、窒素パージされたプロセスチャンバー、さらにカスタマイズのための付属品が装備されています。これらの特徴は、信頼性が高く効率的な拡散炉をお探しのお客様に最適です。