中古 SVG / THERMCO / AVIZA TMX 2604 #293655631 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604は、幅広い拡散結合およびウェーハ製造プロセスを提供するように設計された汎用性と強力な拡散炉およびアクセサリです。これは、高負荷のプロセスだけでなく、超高速のサーマルアニーリングプロセスを実行することができます。SVG TMX 2604は300ミリメートルまでの基板サイズに対応でき、様々な用途に適しています。AVIZA TMX 2604は、高度なプログラミング機能を備えた統合されたプロセス制御装置を備えています。熱工程に合わせたプロセスレシピを簡単に作成でき、正確かつ効率的な操作が可能です。THERMCO TMX 2604には、圧力、温度、真空、大気などの複数のプロセスパラメータが装備されており、プロセス中にすべてを簡単に監視できます。さらに、コンパクトなフットプリントで設計されており、閉じ込められたガス管、クローズドループ冷却システム、光学排出システムなどのオプション機能を備えています。TMX 2604は、グラファイトフィラメント付きの拡散加熱ユニットを使用して、最大1200°Cの温度を実現します。これにより、拡散接合、ウェーハ接合、酸化、アニール、焼結など、450〜1200°Cのさまざまな熱処理に適しています。また、均一なプロセスを達成するのに役立つ統合ポンプ対流マシンが装備されています。この炉は、緊急のeストップスイッチ、可聴緊急警報、緊急停止機能などの自動安全機能を備えています。また、複数のスマートセンサーといくつかの安全インターロックが含まれています。排気の避難用具；そして自動温度制限機能、自動的に所定の温度で加熱プロセスを停止します。さらに、SVG/THERMCO/AVIZA TMX 2604は、ユーザーの利便性を確保するために、さまざまなアクセサリで設計されています。これらは暖房室のカートを含んでいます；冷却チャンバーカート；ロボット基質の移動の腕；ロボットトランスファーアーム;プロセス部屋のアダプター；ローラーまたはマニピュレータアーム。圧力制御資産です。また、グラファイト炉や真空チャンバーシールなどの部品のメンテナンスも容易で、長寿命化やメンテナンス性の低さを考慮して設計されています。SVG TMX 2604は、さまざまな用途に幅広い炉アクセサリーを備えた強力で汎用性の高い拡散炉です。堅牢なプロセス制御モデル、効率的な加熱装置、および高品質で信頼性の高いプロセスを保証するための複数の安全機能を提供します。さらに、AVIZA TMX 2604は様々な便利なアクセサリーとコンポーネントで設計されており、さまざまな製造プロセスに最適です。