中古 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 9000 #293804381 を販売中
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ID: 293804381
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Vertical LPCVD Furnace, 8"
Main frame
AC Transformer rack
Cable
Heater
Top core assy
Miscellaneous parts
MKS 600 Series TV Controller
MKS 628F 2 Torr C/M
Smoke detector
UPS
Cables
Gas panel (FC-7800CU):
Line / Gas / Flow rate
1 / N2 / 5 SLM
2 / He / 500 SCCM
3 / He / 500 SCCM
4 / BCL3 / He / 100 SCCM
5 / Multi / 4 -1000 SCCM
6 / GEH / 4 - 200 SCCM
7 / SiH / 4 - 200 SCCM
8 / SiH / 4 - 200 SCCM
9 / N2 / 2 SLM
10 / GEH / 4 - 200 SCCM 2 SLM
PC: EPROM
2001 vintage.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 9000は、化合物半導体材料および基板の正確なドーピングおよび拡散用に設計された、高度な拡散炉および関連アクセサリです。汎用性に優れたオールインワンツールで、幅広い素材の迅速なエッチングと正確なドーピングを可能にします。SVG RVP 9000は、当社の拡散炉の最新品であり、単一の機器で複数の機能を提供しているため、複合半導体ウェーハの効率的で費用対効果の高いソリューションです。AVIZA RVP 9000拡散炉は、高品質の性能と最大限の柔軟性を提供するように設計されています。その中心の特徴は高精度、速く、正確なドーピングを提供する分野リバーシブルのグラファイトの発熱体です。ガスコントロールモジュールを一体化し、高精度のガス流量制御を可能にし、様々なドーパントレベルの基板の高精度ドーピングを可能にします。さらに、RVP 9000は調節可能な温度制御を備えており、温度プロファイルを正確かつ正確に制御できます。拡散オーブンはまた、拡散プロセス中のガスの均一かつ均一な流れを確保する石英管の設計を備えています。THERMCO RVP 9000には、フルリモートコントロール機能、フルカラーLCDタッチスクリーンディスプレイによるプロセス監視機能などの追加アクセサリーも付属しています。オプションのEPCPシステムは、より堅牢な制御アーキテクチャを提供し、正確なドーピング制御とプロセスパラメータの正確な操作を可能にします。さらに、SVG/THERMCO/AVIZA RVP 9000は、正確なガス流量制御のためのガス供給ユニットと、最適化されたガス流量のためのガス管理マシンと組み合わせることができます。SVG RVP 9000は多目的で信頼性の高いツールであり、精密な流出とドーピングが必要な場合、さまざまなプロセスに最適です。この拡散炉は幅広い材料に対応でき、正確で均一な結果を得ることができます。内蔵の制御ツールは堅牢でユーザーフレンドリーで、ユーザーはプロセスを正確に制御し、プロセスパラメータを管理することができます。さらに、オプションのアクセサリーの助けを借りて、AVIZA RVP 9000は、より効率的に利回りを向上させるために使用することができます。
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