中古 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9097671 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300は、半導体製造に使用するために設計された高性能拡散炉です。この炉は、太陽光発電デバイスの製造からSIP処理まで、幅広い用途で使用されています。SVG RVP 300は、制御された大気中で最大1050°Cの温度に達することができ、さまざまなプロセスを効率的に行うことができます。AVIZA RVP 300は、用途に応じて、石英またはアルミナ円筒管を備えています。チューブは、運転中に広範囲に長い半径が付属しています。管の内部構造は熱損失を防ぐアルミナの絶縁材の層と保護されます。これは、拡散やSIPプロセスなどの高温アプリケーションに不可欠です。管および絶縁材に使用される材料は最高の熱保持および均一な暖房を可能にします。ロードゾーンには、3つの固体電気発熱体と低熱質量絶縁体が装備されており、均一な温度を確保し、熱損失を最小限に抑えます。負荷は垂直方向からロードされた同軸チューブによって促進され、最大8個を処理することができます。クォーツチューブは加熱ゾーンにあり、サポートロッドで所定の位置に保たれ、Oリングで固定されています。THERMCO RVP 300の特別なガス注入装置は、均一なガスと固体の均等に分散した負荷を保証し、粒子の影響を避け、プロセス結果の均一性を確保します。このシステムは、反応性または不活性ガスを使用するための2つのガス入口、複数の圧力調整および制御弁、およびマスフローコントローラで構成されています。高精度温度制御ユニットを備えており、温度の正確かつ正確な制御が可能です。高性能PIDコントローラには、自動ヒートアップおよびクールダウンモード、および手動オーバーライドが装備されています。LCDディスプレイとキーボードインターフェイスにより、プロセス全体の簡単なセットアップ、監視、制御が可能です。ローディングステーションから炉への製品の輸送は、フィーダ、アンローダー機構、および複数のセンサーを備えた輸送およびバッファリング機によって保証されます。このツールは、製品の円滑な輸送と真空管の均一な負荷を提供します。全体として、RVP 300拡散炉とアクセサリは、さまざまな産業プロセス向けに設計された信頼性の高い高性能ツールです。効率的なガス注入アセットと組み合わされた正確な温度制御により、結果の均一性が保証され、廃棄物が削減され、生産効率が向上します。