中古 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600535 を販売中
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SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plusは、半導体および電子機器アプリケーションの厳しい要件を満たすように設計された拡散炉およびアクセサリです。この精密で信頼性の高い装置は、さまざまなプロセスに最適な環境を提供するように設計されており、高速ウェーハからウェーハまでのプロセス時間は0。8分で、高効率を実現します。SVG RVP-300 Plusは、1500°Cまでの高温プロセスに最適化されており、独自のバックサイドローディングメカニズムにより、ウェーハ表面全体にわたって精密かつ均一な加熱を可能にする炉内ゾーンプレートを中心としています。さらに、AVIZA RVP-300PLUSはパイロットまたは生産スケールシステムで利用可能な最高の熱均一性を備えています(ウェーハ全体で2°Cを±)。SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300PLUSは、柔軟な操作とプロセス統合を可能にするさまざまな機能を備えています。オプションのガスデリバリマニホールドにより、バックサイドのガスフローを正確に制御し、ウェハ冷却を向上させます。手動ふたのオープナおよび温度警報器は容易で、安全な操作環境を保障します。さらに、RVP-300 Plusは電子ガスの安全遮断スイッチで設計されており、炉は水素や窒素混合物など様々なプロセスガスで動作することができます。SVG RVP-300PLUSは、調整可能なタッチスクリーンディスプレイを備えたカスタマイズされたリモートコントロールインターフェイスで設計されており、ユーザーに一目でパフォーマンスのフィードバックを提供します。ローカル/リモートセレクタスイッチを使用すると、オフ、低温、高温などのさまざまな動作モードを切り替えることができます。RVP-300PLUSはまた、パルスモード機能を提供しています、これは、温度の制御を可能にし、不規則なプロセス条件の場合に時間を浸します。この高度な炉とアクセサリーユニットは、装置の性能と顧客満足度を向上させるためにSVGのコミットメントをマークします。AVIZA RVP-300 Plusマシンは、正確な温度制御と均一性を提供するだけでなく、業界をリードするプロセスの柔軟性と使いやすさを提供します。このツールは手頃な価格でもあり、ROIの価値が高い機能が多数あります。これらの機能を備えたTHERMCO RVP-300 Plusは、半導体業界やエレクトロニクス業界における高品質な性能と精度のための最先端の選択肢です。
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