中古 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600533 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plus拡散炉は、使いやすいパッケージで優れた柱均一性と優れた電気性能を提供するように設計された高性能熱処理ソリューションです。この炉は、直径6インチまでの基板またはウェーハを処理することができ、最大温度定格1200°Cの6インチのサブボトムホットゾーンを備えています。それは均一な形成を保障するように設計されている低収縮の水晶はさみ金が付いている耐久のステンレス鋼の部屋に入って来ます。この炉はまた、最大350°C/分の安定した一定の加熱速度と5e-003 Torrの最大真空を備えています。SVG RVP-300 Plusには、品質を保証するさまざまな機能があります。自動化された制御装置には、PID（比例積分誘導体）コントローラ、呼吸可能なガス測定モニタリング、高精度な温度制御石英ヒーター、および精密自動ガス噴射システムが搭載されています。この炉には高度なピロメーターが装備されており、正確な温度制御が可能です。AVIZA RVP-300PLUSは、その能力をさらに高めるためのアクセサリーの範囲を持っています。エキゾーストマネジメントユニット（EMS）を装備することで、排出量の抑制とエネルギーコストの削減に貢献します。オプションの結晶顕微鏡マシンは、追加の監視と性能向上機能を提供します。さらに、炉にはリモートビデオ監視ツールを装備し、炉とプロセスを遠隔で観察することができます。さらに、SVGの幅広い技術サービスに裏打ちされており、オペレーターとプロセスのトレーニング、校正サービス、サービス契約などが含まれています。AVIZAはまた、品質管理チェックだけでなく、炉の予防および是正メンテナンスサービスを提供しています。全体的に、AVIZA RVP-300 Plus拡散炉は、基板やウェーハを処理する際に優れた性能を提供するように設計された最高レベルの製品です。堅牢な構造と多様な機能により、幅広い熱処理用途に最適です。