中古 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600529 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plusは、半導体業界で働く人々のために作られた高度な拡散炉とアクセサリーです。SVG RVP-300 Plusは、SVGファミリ全体の最高性能を提供し、革新的な集積回路設計を作成するための優れたプラットフォームを提供します。これは、比類のないシングルショットの均一性を提供し、特定のプロセスのニーズに完全な柔軟性のために設計されています。AVIZA RVP-300PLUSは、温度範囲、ガスの流れ、居住時間など、構成可能なパラメータの包括的なリストを提供しています。炉の温度は周囲から1000°Cまで加熱され、サポートされている最大ウエハサイズは直径300 mmまでです。また、ウェーハ全体の均一性を向上させる革新的な予熱オプションが付属しています。THERMCO RVP-300PLUSには、最大4つの出力をサポートするポテンショスタットと制御エレクトロニクスが含まれています。ガス源は、窒素、水素、アルゴン、酸素からなる最大12個のガスを供給します。この炉は、低圧エピタキシー（LOEE）および高度な光学および不動態化プロセスを可能にするさまざまなプロセスガスを受け入れることができます。AVIZA RVP-300 Plusは、複雑な集積回路を構築するために最適化された多面的なプロセス拡散炉であり、高度な機能の配列が含まれています。温度や圧力などの重要なシステム情報を表示するインテリジェントなインターフェースを備えています。このインターフェイスにより、レシピ編集、データロギングなどのタスクを自動化できます。さらに、SVG RVP-300PLUSは、革新的で効率的な熱管理システムにより、稼働時間を向上させます。さらに、THERMCO RVP-300 Plusには、プロセスを表示するための洗練されたセンサーと光学窓が装備されています。炉からの全温度プロファイルを可視化するオプションとして、熱分解グラファイト（PG）フィルタを備えたIRカメラと観光ガラスを利用できます。また、ガスアナライザーを搭載しており、設置すると酸素、炭素、ガスの不活性な不純物を評価することができます。SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300PLUSは、市場で入手可能な汎用性と強力な拡散炉であり、比類のない信頼性、効率、安全性、性能を顧客に提供します。最新の技術により、半導体デバイスの性能を向上させ、生産コストを削減することができます。