中古 SVG / THERMCO / AVIZA RVP-300 Plus #293600509 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA RVP-300 Plusは、シリシデーション、イオン注入、およびダイヤモンド状の薄膜蒸着プロセス用に特別に設計された拡散炉およびアクセサリーです。この装置は、最高レベルの精度と制御を提供しながら、最も一貫した結果を提供するように設計されています。SVG RVP-300 Plusは、80mmサセプター全体で非常に高速なサーマルランピングレートと優れた熱均一性を提供するため、薄膜成膜などの最高精度を必要とするアプリケーションに最適です。拡張転送ゾーン、デュアルゾーン機能、およびLPCVDおよびRPCVDガスを使用する機能により、このシステムは最も要求の厳しいアプリケーションに対応できます。このユニットには、プログラム可能なデュアルゾーン電源制御、リアルタイム温度制御、手動または半自動モードで動作する機能が装備されています。その他の機能として、オートチューニング、真空制御、および正確で正確な結果を得るための1 μ sデータ収集機があります。AVIZA RVP-300PLUSには、デュアル周波数加熱ツールと堅牢なリング/リングレスクォーツるつぼが装備されています。これにより、アプリケーションに応じて連続フローまたはバッチ処理が可能になります。最後に、アセットのモジュール設計により、将来の炉の拡張または再構成が可能になり、容量が増加し、性能が向上します。全体として、RVP-300PLUSは、最高の精度と制御を提供するように設計された優れた拡散炉とアクセサリーコンビネーションモデルであり、薄膜蒸着、イオン注入、およびその他の要求の厳しいアプリケーションで一貫した結果を提供します。THERMCO μ Plusは、デュアルゾーンの電源制御、1 RVP-300 sのデータ収集装置、堅牢なクォーツるつぼを備えており、最も厳しい要件を満たし、最高レベルの効率を保証します。