中古 SVG / THERMCO / AVIZA Evolve #9226878 を販売中

SVG/THERMCO/AVIZA Evolveは、半導体材料を処理するための高度な拡散炉およびアクセサリ機器です。これは、最新の半導体デバイス設計の要求に応えるための研究開発と生産のための選択肢のツールです。この処理ツールは、最新のマイクロチップ設計およびプロセスの厳しい要件を満たすために、in-situプロセスとex-situプロセスを統合することができます。SVG Evolveシステムは、拡散、イオン注入、酸化、窒化などのプロセスに革新的なソリューションを提供します。AVIZA Evolveユニットは、統合された簡単な制御プロセスを可能にするように設計されています。高度なプロファイルコントローラと、プロセス制御用のマルチゾーン機能を備えています。また、グラフ駆動のコマンドシーケンシング、高レベルのポートプロトコル制御、カスタマイズ可能なシーケンス用の製品固有のコマンドプロトコルなどの高度なツールも提供しています。機械のインテリジェント電源により、加工された材料を正確に制御することもできます。Evolve拡散炉は超小型で堅牢に構築されており、優れた絶縁材と熱シールドを使用して、汚染の可能性を無視して正確で繰り返し可能な結果を提供します。蒸発チャンバーとシールドはすべて、粒子発生を最小限に抑え、汚染の可能性を最小限に抑えるように設計されています。また、分析ツールは、高速で信頼性の高い信号解析とガス検出機能によって正確な結果を提供します。さらに、高度で高精度な処理制御とコマンドシーケンシングおよびデータロギング機能を組み合わせることで、高速なターボ拡散が可能になります。最先端のデジタルコントローラと統合されたプロセスコントローラにより、拡張された出力、コマンドシーケンス、ロギングを使用してプロセス制御を最適化し、包括的なデータ分析を可能にします。さらに、THERMCO Evolveツールは、半導体加工のためのオールインワンソリューションを提供するために、石英コネクタ、石英ウェア、マルチポートスプリットネクトアダプタ、ベルジャーシステムなどの幅広いアクセサリーで利用できます。さらに、このアセットは、ほとんどの標準的な熱電対タイプとアクセサリと互換性があるため、用途に合わせた汎用性の高い選択肢となります。SVG/THERMCO/AVIZA Evolve拡散炉とアクセサリーは、優れたプロセス制御、精度、精度を提供するように設計された先進的なソリューションです。このモデルは、コンパクトなサイズ、高度なチューニング、複数のパフォーマンスオプション、および統合対応設計により、最も要求の厳しい半導体デバイス処理アプリケーションに最適です。